Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3010 #9230241 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3010 est un graveur/asher créé par GASONICS Systems pour la gravure de précision des substrats utilisés dans la production de matériaux semi-conducteurs. La machine utilise un équipement d'imagerie à double faisceau qui combine un laser CO2 avec un système de lithographie à faisceau électronique (faisceau électronique). Cette combinaison permet l'imagerie de substrats circulaires, carrés et rectangulaires avec plus de résolution et de précision que les graveurs concurrents. GASONICS PEP 3010 traite une variété de substrats, y compris l'arséniure de gallium (GaAs), le silicium, le phosphure d'indium (INP), le germanium et d'autres matériaux semi-conducteurs composés. Le graveur est conçu pour traiter les substrats avec une géométrie de surface plane et une épaisseur allant de 0,1 mm à 0,25 mm (1/10 à un quart de millimètre). Il traite également une large gamme de taux de gravure, reproductible sur une gamme de profondeurs, et s'adapte à la gamme complète de tailles de masques et de substrats disponibles dans l'industrie des semi-conducteurs. L'etcher contient deux ensembles de composants spécialisés. Le premier ensemble abrite l'unité d'imagerie, qui se compose d'un laser et d'un outil de lithographie par faisceau électronique. Le module laser possède un miroir, un expanseur de faisceau et un miroir galvanomètre qui servent à focaliser le faisceau laser et à cibler avec précision la zone souhaitée du substrat. Le deuxième ensemble contient les composants de flux de gaz, qui comprennent une chambre de plénum de gaz, un ensemble d'électrovannes, et une tête de douche contrôlée par conductance. Ces composants sont utilisés pour réguler précisément l'écoulement des gaz de gravure de manière à obtenir la vitesse de gravure, la profondeur et le profil désirés. NOVELLUS PEP 3010 peut être pré-programmé avec des recettes pour différentes tâches de gravure par une interface homme-machine (HMI). Les recettes permettent à l'utilisateur de programmer des paramètres de gravure personnalisés, tels que le débit de gaz, la pression et la température du gaz, la tension et la durée des impulsions. La machine dispose également d'un ensemble d'alarmes et d'une machine de récupération automatique qui alertent l'utilisateur de tout problème qui peut survenir au cours du processus de gravure. PEP 3010 travaille en tandem avec plusieurs composants périphériques, tels que le jet etcher et le substrat automatisé chargeur/déchargeur. Le graveur de jet augmente encore la précision du procédé de gravure en utilisant un jet de gaz réactif, en combinaison avec du gaz inerte, pour diriger des gravures à grande vitesse et haute résolution. Le chargeur/déchargeur automatisé de substrat transporte des substrats entre l'graveur et l'graveur de jet, augmentant l'efficacité et le débit du processus de gravure. GASONICS/NOVELLUS PEP 3010 est un outil idéal pour la production de matériaux semi-conducteurs. Sa taille relativement petite, sa grande vitesse et sa résolution, et ses recettes avancées permettent d'obtenir un maximum d'efficacité et de précision de gravure. En outre, la machine est conçue pour être utilisée dans une gamme d'environnements industriels, ce qui en fait un outil de gravure extrêmement polyvalent, mais puissant.