Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824576 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un équipement de pointe de graveur/asher qui est utilisé pour microfabriquer des dispositifs sur une variété de substrats. Il est capable de fixer, graver, planer et enrober des substrats en utilisant des dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) et des dépôts chimiques en phase vapeur (PECVD) améliorés par plasma pour la microfabrication de dispositifs. Le système comporte quatre chambres de réaction indépendantes, permettant de compléter plusieurs procédés sur un seul substrat. GASONICS Aura 2000 dispose de deux systèmes de distribution de gaz distincts, un pour CVD et un pour PECVD. L'unité comporte un humidificateur à ultrasons pour contrôler l'humidité de la chambre de réaction, assurant un environnement gazeux vaporisé uniforme. La chambre chauffée est également équipée d'une source de plasma de forte puissance, permettant la gravure et la planarisation des caractéristiques. De plus, un enrobeur multisite peut être utilisé pour déposer des films conformes sur des surfaces structurées sur de grandes surfaces. Le contrôleur de NOVELLUS Aura 2000 dispose d'un logiciel d'interface graphique facile à utiliser, permettant à l'utilisateur de configurer et de surveiller ses opérations. Ce contrôleur peut être connecté à d'autres ordinateurs de la machine, permettant le fonctionnement à distance et la surveillance. L'interface à distance permet également le diagnostic et la mise à jour des outils à distance. Aura 2000 est un graveur/asher avancé qui est utilisé pour effectuer divers processus de balisage, gravure et revêtement. Les quatre chambres de réaction indépendantes, les deux systèmes de distribution de gaz et le contrôleur intégré en font un outil puissant pour la microfabrication des dispositifs. L'actif est également compatible avec d'autres systèmes du modèle, permettant le fonctionnement à distance et la surveillance.
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