Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3010A #293824582 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A est un équipement de graveur et asher qui utilise un ensemble séquencé de processus physiques et chimiques pour réaliser la fabrication de formes complexes sur les circuits et les composants semi-conducteurs. Il est équipé d'un faisceau de plasma haute résolution provenant d'un mélange azote-oxygène focalisé sur la zone cible, fournissant une imagerie de haute précision du motif désiré. Ce système est capable de réaliser des processus reproductibles et répétables avec une précision inférieure à 0,02 μ m, jusqu'à trois fois supérieure à la norme de l'industrie. GASONICS PEP 3010A peut être configuré pour une variété de procédés sous-microns tels que la lithographie pas à pas, la gravure sèche, le dépôt de pulvérisateurs et l'ion focalisé et le faisceau d'ions implantés. En outre, NOVELLUS PEP 3010A est capable d'effectuer à la fois la gravure de surface et le dépôt de couches métalliques conductrices pour construire des structures de circuits intégrés complexes. Il est équipé d'une station de déflexion multidirectionnelle du faisceau qui dirige le faisceau de plasma, permettant une lithographie par plasma à 0,02 microns. PEP 3010A dispose d'une unité intégrée d'alimentation en plasma, conçue pour assurer l'alimentation en gaz nécessaire à la pression et au débit requis pour un traitement efficace. Il est également équipé d'un contrôleur en boucle fermée qui surveille et ajuste constamment l'optimisation des débits de gaz et de la composition du gaz. Il est également conçu avec un système de micro-aspiration, qui permet un contrôle précis des vitesses de gravure et de pulvérisation, ainsi que le timing exact de la couche de dépôt métallique. La machine est également conçue avec un outil automatisé de détection du point d'extrémité qui permet de contrôler avec précision la vitesse de gravure requise et l'épaisseur de la couche. Cet actif surveille en permanence le processus de gravure et les signaux lorsque le profil et l'épaisseur de couche souhaités ont été atteints. En outre, GASONICS/NOVELLUS PEP 3010A est équipé d'un modèle de diagnostic avancé avec détection rapide et précise des défauts et récupération automatique. Un ensemble complet d'outils permettant un entretien facile et fiable complète le paquet. GASONICS PEP 3010A a été conçu pour répondre aux exigences de gravure les plus difficiles d'aujourd'hui et offre la flexibilité et la précision requises pour les processus les plus avancés. La combinaison d'une imagerie précise, d'une détection rapide et précise du point final et d'une maintenance automatisée font de NOVELLUS PEP 3010A la solution idéale pour toute application de gravure et de pulvérisation.
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