Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3500 #9202560 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3500 est un graveur/asher de pointe offrant des performances et une flexibilité de processus supérieures pour les substrats jusqu'à six pouces de diamètre. Il peut traiter des plaquettes avec une alumine ou un quartz PETR en une seule étape. GASONICS PEP 3500 dispose d'une conception de flux de gaz à chambre basse, permettant des parcours prolongés avec des remplissages de points fins et d'espace ainsi que des structures complexes. Il dispose de canons à faisceau d'électrons contrôlés indépendamment pour un contrôle plus strict des processus. Chaque canon est programmable jusqu'à 500 watts de puissance et peut se déplacer sur le substrat à des vitesses allant jusqu'à 40 pouces par minute. Le pistolet à poutre est intégré dans un support de source modulaire, plein champ, aimanté offrant une flexibilité dans la sélection de la source et permet une large gamme d'exigences de gravure de matériaux et de cendrage. Son système de contrôle de pression optimisé maintient des niveaux de pression de base supérieurs pendant le traitement. Pour une sécurité accrue, l'ensemble de la chambre est en acier inoxydable et est conçu pour un fonctionnement à long terme dans un cadre industriel. Le système dispose également d'un système de refroidissement pour éviter l'accumulation de chaleur et protéger le substrat pendant le traitement. NOVELLUS PEP 3500 est équipé de mesures de sécurité multi-niveaux et est conforme aux exigences des systèmes d'analyse de sécurité et/ou de gestion de la santé et de la sécurité au travail. De plus, le calendrier d'entretien à grande vitesse à bord permet des mesures d'entretien proactives et préventives. Au total, PEP 3500 etcher/asher offre des performances supérieures et une flexibilité de processus, ce qui en fait le choix idéal pour toute application de gravure de semi-conducteurs.