Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia #293658056 à vendre en France
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ID: 293658056
Taille de la plaquette: 8"
Asher, 8"
Dual chamber
Component configuration:
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAYA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Lift and right PCM
(2) MISC Controllers
(2) Gas controllers
(2) M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHREM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
ASTEK D13765 M/W Generator (Right side)
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves.
Gas supply:
Gas name / Range / Size
CF4 / 200 mm / 1/4" VAC
N2 / 500 mm / 1/4" VAC
O2 / 500 mm / 1/4" VAC
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC
NF3 / 20 CC / 1/4" VAC
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC
Purge N2 / - / 1/4" VAC
Utility description:
(4) QC6 Connectors
(2) ISO 80 Chambers
(2) 3/8" SWG Male chambers
Misssing parts:
YASKAYA XU-RCM 4700
ASTEK D13765 M/W Generator (Left side)
Power supply: 208 V, 5-Wire, 150 A, 50/60 Hz, 3 Phase.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour les applications avancées de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) équipé d'une source de plasma DC de 180 watts. Il est équipé d'une unité de commande de puissance de source qui peut passer de 0 à 180 watts par incréments de 0,1 watt, permettant un contrôle précis du processus de gravure/cueillette. La machine a également une capacité de rotation du substrat de 5 à 1000 rotations par minute (tr/min) et est contrôlée par une caméra CCD pour un positionnement précis du substrat. GASONICS PEP 3510 Iridia est conçu avec une chambre de gravure/cueillette de quartz qui utilise jusqu'à deux ou quatre gaz pour la gravure et la cueillette. Le quartz assure que les processus de gravure et de cueillette ne sont pas contaminés par des contaminants tels que les métaux qui peuvent se décomposer au cours du processus. NOVELLUS PEP 3510 Iridia dispose également d'une unité de distribution de gaz qui permet d'acheminer une large gamme de mélanges de gaz dans la chambre de gravure/cueillette. Ceci permet à l'utilisateur d'affiner les temps d'ouverture et de fermeture des vannes de grille qui contrôlent les processus de gravure et d'ashing. PEP 3510 Iridia a une source d'ions de haute pureté, avec 90 degrés d'angle et jusqu'à 200 watts de puissance. Il est capable de produire une large gamme d'ions et de radicaux utilisables pour la gravure et le cendrage. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia dispose d'une machine de contrôle de gaz multi-niveaux qui permet des niveaux précis de gravure/cueillette et permet de définir un large éventail de paramètres de processus, tels que la durée de gravure/cueillette, la pression, la température et le débit. Enfin, GASONICS PEP 3510 Iridia est équipé d'un moniteur plasma et est capable de mesurer les concentrations de gaz en temps réel. Le moniteur permet également à l'utilisateur de visualiser les ondes plasmatiques en temps réel afin d'assurer des conditions de traitement optimales. En conclusion, NOVELLUS PEP 3510 Iridia est un outil de graveur/asher haut de gamme conçu pour la gravure précise et contrôlée des matériaux semi-conducteurs avancés. Ses fonctionnalités avancées permettent aux utilisateurs de contrôler les paramètres du processus et de surveiller les processus en temps réel, ce qui en fait un outil idéal pour les opérations de gravure/cueillette.
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