Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia #293752827 à vendre en France

GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Iridia
ID: 293752827
Taille de la plaquette: 6"
Asher, 6" Dual chamber Component configuration: Cassette unit: Cluster PCM YASKAYA XU-CM 4730 Robot controller Chamber unit: (2) Lift and right PCM (2) MISC Controllers (2) Gas controllers (2) M/W Controllers (2) Lamp controllers (2) EUROTHREM 818S Temperature controllers (2) NIKON M680 Temperature controllers (2) ASTEK D13765 M/W Generator (Right side) (2) ENI ACG-6B RF Generators (2) MKS MWH-5 RF Matchers (2) MKS MWH-R RF Matcher boxes (2) MKS 600 Series Pressure controllers (2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves Gas supply: Gas name / Range / Size CF4 / 200 mm / 1/4" VAC N2 / 500 mm / 1/4" VAC O2 / 500 mm / 1/4" VAC HE / 2 SLPM / 1/4" VAC NF3 / 20 CC / 1/4" VAC O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC Purge N2 / - / 1/4" VAC Utility description: Name / Description / Unit Power (AC) / ø3, 208V, 5wire, 150A, 50/60 Hz / Power Box PCW / QC6 Connector, 4EA / Chamber VAC / ISO 80, 2EA / Chamber CDA / 3 / 8" SWG Male, 2EA / Chamber.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia est un équipement de graveur/asher très avancé et polyvalent utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour l'élimination précise et uniforme des couches minces et des résidus sur les substrats. Construit sur une plate-forme robuste, cet outil est conçu pour offrir des performances exceptionnelles, la fiabilité et le contrôle des processus pour des environnements de production à haut volume. Le système dispose de technologies et de capacités innovantes qui le rendent adapté à un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Au cœur de GASONICS PEP 3510 Iridia est ses capacités avancées de gravure plasma et d'ashing, qui permettent un contrôle précis des vitesses de gravure, de la sélectivité et de l'uniformité entre les différents matériaux et structures. L'unité est équipée d'une source de plasma haute densité qui génère un plasma réactif, permettant l'élimination efficace et sélective des couches de matériaux des substrats. Cette source de plasma, associée à la conception avancée des chambres de procédés et des systèmes de distribution de gaz, garantit une performance et une répétabilité optimales du procédé. NOVELLUS PEP 3510 Iridia offre une gamme de gaz de procédé et de produits chimiques, offrant aux utilisateurs une flexibilité pour adapter les processus de gravure et d'ashing aux exigences spécifiques. Cette flexibilité est essentielle pour répondre aux divers matériaux et structures rencontrés dans la fabrication des semi-conducteurs, tels que le silicium, les oxydes, les nitrures, les métaux et le silicium polycristallin. L'outil de distribution de gaz de la machine est précisément contrôlé pour maintenir les conditions de processus souhaitées et faciliter la formation d'espèces plasmatiques essentielles à l'élimination des matières. L'un des points forts de PEP 3510 Iridia est ses capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. L'actif est équipé de capteurs de suivi de processus en temps réel qui permettent la détection in situ du point final, ce qui est essentiel pour obtenir un contrôle précis du processus et garantir des résultats de gravure/cueillette cohérents. En outre, le modèle dispose d'algorithmes matériels et logiciels avancés pour l'optimisation des processus, permettant l'ajustement des paramètres critiques en temps réel pour atteindre le profil de gravure et le point de fin souhaités. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Iridia est conçu pour le traitement à haut débit, avec des fonctionnalités telles que la commutation rapide de gaz, des temps de descente de pompe rapide, et des capacités de manutention de plaquettes efficaces. Ces caractéristiques contribuent à augmenter la productivité et à réduire les temps de cycle, ce qui rend l'équipement idéal pour les environnements de fabrication à haut volume où le débit de processus est un facteur critique. Le système est également conçu pour faciliter l'entretien et l'entretien, garantissant un temps d'arrêt minimal et des coûts opérationnels. En résumé, GASONICS PEP 3510 Iridia est une unité de graveur/asher de pointe avec des capacités avancées de traitement du plasma, des fonctions de surveillance et de contrôle des processus, et des performances de haut débit. C'est un outil polyvalent qui peut répondre à un large éventail d'applications de fabrication de semi-conducteurs, offrant aux utilisateurs la précision, la fiabilité et l'efficacité requises pour produire des dispositifs semi-conducteurs avancés. Que ce soit pour graver des couches minces, éliminer des résidus ou effectuer des étapes critiques de fabrication de semi-conducteurs, NOVELLUS PEP 3510 Iridia est une solution de pointe pour obtenir des résultats uniformes et de haute qualité.
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