Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 Plus #293753218 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus est un graveur/asher conçu pour le traitement avancé des dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher multi-plateaux avec quatre porte-plaquettes individuellement chargés indépendamment. La machine a des fonctionnalités avancées telles que le contrôle de processus avancé, haut débit, et faible coût total de la propriété. GASONICS PEP 3510 Plus dispose d'une seule chambre de traitement de plaquettes qui a optimisé les capacités de gravure et de cendrage. Il dispose d'une porte de chargement/déchargement avant facile d'accès pour permettre le transfert et le chargement des plaquettes en une seule étape. Il dispose d'un mécanisme de maintien de la plaquette pour assurer un mouvement précis et un alignement approprié de la plaquette à la chambre. La chambre comprend le procédé de distribution de gravure de couche (LED) pour fournir un contrôle supérieur de gravure de plasma et permettre un contrôle précis de l'épaisseur de couche. Le NOVELLUS PEP 3510 Plus dispose également d'un algorithme optimisé de détection à haut débit pour réduire la variabilité des processus et améliorer l'uniformité des couches. Il utilise la surveillance automatisée des processus in situ avec le Layer Etch Monitor (LEM) pour réduire les déchets et minimiser la perte d'épaisseur des couches en surveillant les paramètres des processus de gravure et le temps de traitement. Enfin, PEP 3510 Plus dispose d'une fonctionnalité Resource Smart qui lui permet d'identifier la recette optimale et le cycle de processus pour atteindre les propriétés souhaitées de structure de l'appareil, améliorer le rendement de l'appareil et réduire le coût total de propriété. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 Plus est conçu pour répondre aux exigences de débit les plus élevées du traitement avancé des dispositifs semi-conducteurs et donner des résultats supérieurs. Il dispose de chambres de gravure en titane à haute température pour une gravure uniforme et des caractéristiques de cendrage supérieures. Il dispose également de paramètres d'entrée de faible énergie pour réduire la contamination des particules et augmenter la fiabilité du dispositif. Les résultats de haute précision de GASONICS PEP 3510 Plus permettent une gravure de niveau inférieur à 20nm et une ashing dans des conceptions standard et complexes. La machine a également été conçue pour répondre aux normes de sécurité applicables, y compris OSHA, NFPA et CSA. Dans l'ensemble, NOVELLUS PEP 3510 Plus est un graveur/asher multi-plateaux avec des fonctionnalités pour augmenter le contrôle des processus, permettre un contrôle précis de l'épaisseur des couches, réduire la variabilité des processus, minimiser la perte d'épaisseur des couches et réduire le coût total de propriété. Il est conçu avec des capacités de haut débit et une détection optimisée du point final pour garantir des résultats de processus supérieurs. Cela en fait un choix idéal pour le traitement avancé des appareils.