Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #293587292 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 est un graveur/asher de pointe. Cette chambre est conçue pour une utilisation en environnement de production et peut contenir jusqu'à cinq chambres de procédé et une ou deux chambres de pré-nettoyage selon la configuration. Cet outil avancé est capable d'exécuter une seule plaquette ainsi que le traitement par lots de plusieurs plaquettes. GASONICS PEP 3510 dispose d'une mise à niveau Iontek qui permet une implantation ionique de précision. Il dispose d'une chambre de source interchangeable avec un équipement de défense de la rotation de la source et un capteur de force 7x10 pour mesurer l'uniformité de l'implantation. La chambre support du substrat a intégré des élévateurs, contribuant à prévenir la contamination et les gradients thermiques sur le substrat. Le système de distribution de gaz peut fournir jusqu'à quatre mélanges de gaz différents avec une unité de connexions électrovannes et des commandes de pression qui maintiennent un environnement propre et stable. La chambre dispose également d'une machine avancée de régulation de température et de refroidissement. Il comprend un refroidisseur intégré et un four qui fournit un environnement contrôlé par la température avec une plage de température de 0 à 600C. La température de la chambre est surveillée par un outil de vision GASONICS. Pour assurer une étanchéité étanche au vide, NOVELLUS PEP 3510 est livré de série avec deux robustes vannes de grille. La première vanne régule l'entrée de tension, tandis que la seconde maintient spécifiquement un environnement de vide étanche. En outre, PEP 3510 dispose également de capteurs et de détecteurs de gaz privés de haute performance pour assurer une sécurité supplémentaire contre la contamination et les dépôts. La chambre est livrée avec un atout avancé de contrôle automatique de la puissance du plasma et une source de plasma supérieure. Ceci assure un traitement reproductible et sans défaut avec un meilleur contrôle de la gravure. En outre, cet outil dispose d'un modèle programmable d'incidence de succès de bord avec robotique d'impédance afin que les utilisateurs puissent facilement ajuster le profil de bord de leur gravure. Pour assurer un environnement de traitement propre, GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 est équipé d'un puissant équipement NOVELLUS Pulse-O-Mizer. Ce système est capable de produire des rafales de plasma de très faible énergie pour l'élimination des particules, créant un environnement de fonctionnement stable et exempt de particules. Dans l'ensemble, GASONICS PEP 3510 est un graveur/asher exceptionnel. Il a une conception efficace avec toutes les fonctionnalités nécessaires pour exécuter des processus de gravure et de cueillette de précision, ainsi que des caractéristiques de sécurité supplémentaires qui garantissent un environnement de travail sûr.