Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9195885 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 etcher/asher est un appareil de gravure et de cueillette plasma à haute performance utilisé dans les procédés avancés de microfabrication. Il est conçu pour être une solution rentable et économique pour la gravure et l'ashing de couches minces à base de silicium. GASONICS PEP 3510 combine une conception brevetée de tête de douche à co-flux, un blindage multicouche et d'autres technologies de gravure avancées pour fournir un procédé de gravure ultra précis et de haute précision. Le système est capable de réaliser une gravure très mince avec une contamination minimale. NOVELLUS PEP 3510 utilise une buse de tête de douche à co-flux brevetée qui divise les vapeurs de graveur et de couplant en huit quadrants. Cela crée un processus de gravure uniforme et précis, sans distorsion de micro-gravure ni annulation. PEP 3510 dispose d'une unité de blindage multicouche brevetée qui différencie entre graveur et couplant pour un meilleur contrôle des processus. La machine fournit un environnement thermiquement isolé pour le processus de gravure, minimisant la distorsion micro-gravure. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 est un outil extrêmement rapide et économique. Il est capable d'atteindre une vitesse de gravure allant jusqu'à 30 microns par minute. Il est capable de traiter simultanément un grand nombre de substrats et peut accueillir un large éventail de fournisseurs. L'actif utilise une recette de gravure universelle et est compatible avec plusieurs gaz, ce qui réduit la complexité du processus et le temps. GASONICS PEP 3510 offre un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires pour garantir la plus haute qualité de produit possible. Il utilise une alimentation distribuée à double fréquence qui empêche les fluctuations de puissance et fournit un environnement de gravure stable. NOVELLUS PEP 3510 dispose également d'une optimisation programmable du décollage des produits et de la recette, permettant un contrôle précis des paramètres du processus. Enfin, il offre plusieurs fonctions de sécurité, dont la surveillance à distance, un interrupteur d'arrêt d'urgence et un modèle d'échappement filtré pour assurer la santé et la sécurité des opérateurs. Dans l'ensemble, PEP 3510 etcher/asher est un excellent choix pour les procédés avancés de microfabrication. Il offre un moyen précis, rapide et économiquement efficace de graver et d'aspirer les couches minces avec une contamination minimale. Sa combinaison de technologies de pointe, de caractéristiques innovantes et de mesures de sécurité en font un choix idéal pour la gravure et le cendrage de couches minces à base de silicium.