Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510 #9312374 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 est un équipement de gravure et d'ashing destiné à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un système haut de gamme qui combine deux des techniques de procédé les plus populaires - une gravure de plasma et une bande de cendres. Il est capable de débit élevé et permet l'intégration de processus pour des rendements élevés des processus de gravure et de cendres. GASONICS PEP 3510 se compose d'un module de commande principal, d'une unité de vide et de la chambre de procédé. NOVELLUS PEP 3510 comprend une interface utilisateur qui permet une configuration de recette personnalisée grâce à sa machine pilotée par ordinateur. L'outil à vide contrôle la pression de la chambre de procédé et fonctionne sous vide tandis que le module de commande principal assure le contrôle complet de toutes les fonctions de procédé. PEP 3510 utilise un procédé de gravure plasma qui a une sélectivité et un taux de gravure plus élevés que les techniques de gravure traditionnelles. Le procédé de gravure par plasma réduit la taille du chargement sur le masque de gravure, ce qui permet des rendements plus élevés et réduit les risques de contamination. Le processus de gravure peut être effectué soit dans une seule direction, soit dans une double direction avec la possibilité de contrôler indépendamment la direction de gravure. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510 propose également un procédé de traitement des cendres de bandes qui utilise une chambre de cendres pour décaper une couche d'oxyde de la plaquette. C'est un procédé de décapage à sec qui est plus efficace que les procédés de décapage par voie humide. La chambre à cendres peut fonctionner en une seule étape ou en plusieurs étapes pour des étapes de processus hautement intégrées. En outre, GASONICS PEP 3510 comprend une variété de technologies de procédé avancées pour améliorer les processus de gravure et de cendres. Il s'agit notamment de systèmes avancés de manutention de plaquettes, de systèmes automatisés de chargement de plaquettes et d'échantillons, de livraison cryogénique pour des débits élevés et de logiciels d'outils dédiés pour le développement de recettes avancées. Dans l'ensemble, NOVELLUS PEP 3510 est un actif de gravure et de cueillette fiable qui offre des rendements élevés grâce à une intégration efficace des processus. La combinaison de technologies de procédé avancées et la robustesse en font un excellent choix pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.