Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146555 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A est un outil avancé de gravure/cendres capable de gravure de haute précision et de modification de surface. C'est un outil de processus intégré en plusieurs étapes qui prend en charge la gravure et la modification de surface sur une seule plate-forme. Pour ce faire, on utilise une seule ligne de gaz et un réseau d'électrodes bien espacées, ainsi qu'une variété de niveaux de puissance et de combinaisons chimiques. L'outil est spécialement conçu pour répondre aux exigences de la mémoire 3D difficile et des applications de dispositifs empilés. GASONICS PEP 3510A fournit une vitesse inégalée pouvant atteindre 100 wafers/heure, ce qui se traduit par un temps de traitement inférieur à 10 secondes par wafer. En outre, la plate-forme permet une large gamme de processus allant des profondeurs de gravure peu profondes à plus de 6 microns et avec un contrôle très serré sur la répétabilité et la précision du processus. En conséquence, l'outil de gravure/cendres est excellent pour les dispositifs comportant des structures de profondeur multicouches, des structures de flanc inférieur et des FinFET. L'outil est conçu avec un certain nombre de fonctionnalités avancées et d'options, y compris un réseau d'électrodes à quatre équilibres, un manomètre de capacité intégré, et des contrôleurs de débit de masse numérique de spectroscopie. Cela permet un contrôle de processus serré, ainsi qu'une livraison de chimie et un contrôle de température précis. NOVELLUS PEP 3510A est capable de manipuler un large éventail de produits chimiques, y compris le chlore, le brome, les fluorés, les oxydants, et plus, permettant aux utilisateurs de personnaliser le processus en fonction de leur application spécifique. En outre, PEP 3510A comprend un support d'alimentation distribuée avec plusieurs entrées et sorties. Cela permet d'assurer davantage la répétabilité et l'exactitude des processus. En conclusion, GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A est un outil avancé de gravure/cendres haute vitesse intégrant un certain nombre de caractéristiques et d'options qui assurent un contrôle serré des processus, une livraison précise de la chimie et une excellente répétabilité. En conséquence, GASONICS PEP 3510A est idéal pour les utilisateurs à la recherche d'une solution de gravure et de modification de surface fiable et de haute précision pour les applications de mémoire 3D et de dispositifs empilés.