Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9146556 à vendre en France
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ID: 9146556
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Asher, 8"
Machine hours: 29389
Cassette interface:
(2) ASYST Integrated SMIF
Wafer handler: Dual blade
Model: XU-RCM4700 rev 3
Left module:
Model: PEP 3510A (L)
Configuration: 95-0481
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 34260.9
Left module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Right module:
Model: PEP 3510A (R)
Configuration: 95-0482
Power: 208 V, 60 Hz, 30 A, 1 Phase / WYE
Source / Process kit type: Quartz
Platen type: Standard
Power supplies: MWave PS: Astex OEM C13170 (1250W)
Hours: 16547.1
Right module gas configuration:
Gas Flow (sccm) MFC Mfgr MFC Model
O2 4000 BROOKS 5964
N2 200 BROOKS 5964
N2H2 4000 BROOKS 5964
Power: 208 V, 60 Hz, 150 A, 1 Phase / WYE
1997 vintage.
GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A est un graveur/asher de haute précision conçu pour diverses applications. Cette machine est capable de graver ou asher avec précision divers matériaux avec un haut degré de précision et de répétabilité pour nous dans la fabrication microélectronique et optoélectronique. GASONICS PEP 3510A dispose d'un système de commande logiciel avancé, à moteur, qui permet de programmer divers paramètres de gravure ou d'ashing tels que la pression de la chambre, le temps de réaction et la température. Cela permet une gravure ou un cendrage rapide et précis du matériau ciblé. NOVELLUS PEP 3510A dispose également de deux chambres distinctes qui sont maintenues dans un environnement sous vide. Chaque chambre a sa propre alimentation RF commandée individuellement et peut être configurée pour la gravure ou la cendre selon les besoins. PEP 3510A offre également plusieurs caractéristiques de sécurité, dont un système d'interception, une vanne d'arrêt et un manomètre. Ces dispositifs de sécurité sont conçus pour garantir que le matériau gravé ou cendré est de la plus haute qualité et que l'environnement de la machine est toujours maintenu en toute sécurité et avec précision. GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A est une machine très polyvalente, capable de graver ou d'aspirer divers matériaux, dont l'aluminium, le silicium, l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium et d'autres matériaux à haute performance. Cela en fait une machine idéale pour les applications de fabrication de haute précision. En plus de ses fonctions de gravure et de cendrage, GASONICS PEP 3510A dispose également d'une source de plasma intégrée qui peut être utilisée pour post-gravure ou nettoyage de cendres. La source de plasma est réglable aussi bien pour le nettoyage à plasma sec que pour le nettoyage à plasma humide. Cela aide à fournir une finition propre et sans dommages après la gravure ou la cendre. Enfin, NOVELLUS PEP 3510A est une machine extrêmement efficace. Sa conception unique et sa motorisation logicielle de pointe assurent des temps de cycle élevés et rapides. De plus, les commandes de la machine sont simples et faciles à utiliser, ce qui garantit que les utilisateurs peuvent rapidement et avec précision configurer, programmer et exécuter leurs processus de gravure et de cueillette.
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