Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 3510A #9170813 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 3510A est un équipement de gravure et d'ashing conçu pour des applications de fabrication de puces à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour le transfert de motifs et la fabrication de dispositifs des dernières conceptions IC (Integrated Circuit). Le système dispose d'une architecture de traitement parallèle à 6 canaux qui permet des processus de gravure/cendres efficaces sur une grande variété de matériaux, ce qui le rend idéal pour une production à haut volume. L'unité est également équipée d'une intégration de processus serrée et peut facilement s'intégrer avec d'autres équipements GASONICS. La machine se compose d'un quai de chargement robotique et de déchargement, d'un processeur central, d'une chambre à vide et d'un certain nombre de pistons et de pompes à vide. Le quai robotique utilise un bras articulé pour déplacer les plaquettes du poste de queue de cassette à la chambre de gravure. Le processeur central permet un contrôle précis des paramètres de gravure. La chambre à vide maintient la plaquette pendant les processus de gravure et de cueillette, et les pistons et les pompes à vide sont utilisés pour déplacer, contrôler et maintenir la pression dans la chambre. L'outil est capable de graver et d'aspirer une variété de matériaux, y compris des plaquettes de silicium, aluminium, cuivre, tungstène, et d'autres. Il a la capacité de traiter jusqu'à 4500 plaquettes par heure dans une seule chambre. L'actif dispose également d'une variété de paramètres de gravure et d'ashing auxquels il peut être programmé pour adhérer, offrant une précision et une répétabilité accrues. Le modèle est équipé de dispositifs innovants de sécurité et de contrôle des contaminants. Les cassettes de wafer sont isolées de l'équipement pendant le processus de transfert, ce qui réduit les risques de contamination ou de dommages. Le système comprend également un capteur d'humidité des plaquettes, un mandrin électrostatique pour assurer le bon chargement et le déchargement des plaquettes, et des filtres à haut rendement pour minimiser la contamination par les particules et les vapeurs. GASONICS PEP 3510A est une unité de gravure et de cueillette puissante et fiable qui est conçue pour les besoins de traitement des plaquettes à haut volume de l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques de haute performance, son intégration de processus serrés et ses fonctionnalités de sécurité innovantes, il est un excellent choix pour les opérations de fabrication de puces qui nécessitent des transferts de motifs précis et reproductibles.