Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #293595640 à vendre en France

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia est un graveur/asher industriel conçu pour la gravure de couche critique ultra-haute précision et le traitement à haute vitesse. Il est capable de réaliser un large éventail d'exigences de traitement haut de gamme telles que la gravure de tranchées peu profondes, le placage de tranchées à tranchées, la gravure sèche et la gravure de contact arrière. En utilisant un équipement de lithographie avancé et un système de distribution de gaz, la machine est capable de produire des structures difficiles au niveau des sous-microns avec un degré élevé de précision et de répétabilité. La machine est équipée d'une unité de rotation unique à double étage qui assure une grande cohérence et permet un placement optimal des couches gravées et cendrées. Le PEP 4800DL est capable de traiter des substrats jusqu'à 8 po. (200 mm) de diamètre et jusqu'à 0,4 po. (10 mm) d'épaisseur. Il utilise à la fois des procédés de gravure humide et sèche, permettant la production de dispositifs très complexes. En standard, la machine est équipée d'une source de plasma DC/AC puissante et stable, fournissant un panache stable à tout moment. Pour une flexibilité maximale, la machine peut être équipée de 24 chambres indépendantes et est capable de manipuler une grande variété de précurseurs chimiques et de gaz. La machine de livraison de gaz intégrée de pointe fournit un débit de gaz très fiable et cohérent, assurant une parfaite adéquation de processus pour toute gravure ou ashing. Le PEP 4800DL est entièrement automatisé et dispose d'un moniteur intégré et d'un outil d'acquisition de données, éliminant l'intervention de l'opérateur et fournissant des résultats exacts et reproductibles. Il est configuré avec un cycle de processus sophistiqué contrôlé par ordinateur, permettant à l'ingénieur de modifier les paramètres du processus et d'optimiser le processus. En outre, il peut être équipé d'un mécanisme de post-traitement facultatif qui peut être utilisé pour assurer une parfaite imperfection pendant le traitement. La machine s'intègre également au logiciel de suivi et d'analyse de processus NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS, permettant un contrôle et un suivi complets des processus pendant le traitement.