Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL Iridia #9382963 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) fournissant des technologies de gravure et d'ashing avancées avec une optimisation des processus de haut niveau pour les applications de dispositifs microélectroniques. Ce graveur/asher facilite la formation, l'intégration et l'amélioration efficaces du dispositif avec un contrôle précis de l'homogénéité, de la répétabilité et de l'uniformité des dépôts, éliminant la variabilité des couches du dispositif et permettant un dépôt précis en couches minces. Le chauffage intégré des plaquettes, l'automatisation et les technologies de dispersion améliorées du système permettent un contrôle fiable et efficace des processus pour des résultats reproductibles. GASONICS PEP 4800DL Iridia utilise une unité de couverture de gaz haute performance pour supporter une grande variété de produits chimiques de gravure, offrant un taux de gravure et une uniformité de pointe dans l'industrie. Cette machine intègre des technologies logicielles de pointe, permettant l'optimisation des processus et le réglage fin de manière personnalisable, permettant des résultats de processus de haute qualité pour une grande variété de types d'appareils. La technologie d'intégration de processus dynamique brevetée (IPD) de l'etcher/asher utilise des algorithmes avancés pour optimiser les tâches de gravure et de cueillette sur une base wafer-by-wafer. La technologie DPI interprète intelligemment les données de niveau wafer pour permettre aux utilisateurs de personnaliser les recettes d'emploi afin de maximiser le débit, le rendement et la qualité. NOVELLUS PEP 4800DL La technologie avancée Soft- etch™ d'Iridia permet la gravure à large bande, basse tension, facilitant la variation contrôlée de la profondeur de gravure sans variances du taux de gravure. Cela permet de fabriquer des structures plus finement gravées et des caractéristiques nanométriques, ce qui permet de concevoir des dispositifs de meilleure qualité et plus complexes. L'outil est alimenté par un atout de contrôle haute performance entièrement automatisé doté de la technologie Adaptive Processing Control™, offrant aux utilisateurs la possibilité d'ajuster facilement les paramètres de gravure et d'ashing, pour une qualité et une uniformité parfaites des plaquettes. Le modèle offre également le logiciel Remote Assistance™, fournissant un service à distance expert à la demande pour maximiser la productivité et minimiser les temps d'arrêt. Pour améliorer encore l'efficacité du processus, PEP 4800DL Iridia dispose de technologies rapides de cicatrisation à courant continu et de précontrainte, éliminant le besoin d'évaporation du HCl avant la gravure. Cet équipement est également équipé d'un procédé d'auto-nettoyage, permettant une purification rapide des plaquettes entre les gravures. Dans l'ensemble, GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL Iridia est un système de graveur/asher puissant et avancé, conçu pour la gravure de haute qualité, l'ashing et le dépôt de dispositifs microélectroniques. Avec des capacités d'optimisation et de personnalisation sophistiquées, un contrôle et une uniformité exceptionnels, et des technologies de dispersion et de nettoyage efficaces, GASONICS PEP 4800DL Iridia est un excellent choix pour toutes les installations de fabrication.
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