Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP 4800DL #9404470 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP 4800DL est un graveur/asher à plasma de pointe conçu pour être utilisé dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs, de science des matériaux et de dispositifs submicroniques. Cet équipement est capable de réaliser un large éventail de processus de gravure et de cendrage et a été conçu pour une utilisation dans des séries de production de volume élevé. Le système utilise un double procédé de gravure laser plasma, ce qui signifie que deux lasers de longueurs d'onde différentes sont utilisés pour vaporiser le matériau simultanément, ce qui donne une excellente précision de gravure et uniformité sur tout le substrat. GASONICS PEP 4800DL est équipé d'une tache de 5x5mm et est capable de graver des tailles de caractéristiques jusqu'à 5nm. L'unité a une capacité de jusqu'à 600 plaquettes par lot et est également programmée avec une recette et des fonctionnalités d'édition qui permettent aux utilisateurs de personnaliser les recettes de gravure en fonction de leurs besoins spécifiques. La machine est équipée à la fois d'une source chimique et de gaz, ce qui lui permet de traiter un large éventail de matériaux. La source chimique est constituée par l'alimentation chimique qui est reliée à l'outil par un tuyau flexible. La source de gaz consiste en un dispositif alimenté par radiofréquence qui sert à alimenter l'actif en gaz de gravure et de cueillette. Le modèle dispose également d'une chambre à vide haute, ainsi que de plusieurs capteurs de surveillance in-situ et ex-situ qui permettent aux utilisateurs de surveiller le processus de gravure tout au long du cycle de gravure. Cela garantit un haut niveau de contrôle des processus et des performances de gravure uniformes. L'équipement est également équipé d'une suite de sécurité complète pour assurer la sécurité des opérateurs. Dans l'ensemble, NOVELLUS PEP 4800DL est un graveur/asher plasma très fiable et précis conçu pour une utilisation à haut volume de production. Le système offre une excellente précision et uniformité de gravure, est capable de graver des caractéristiques jusqu'à 5nm, et est équipé d'une suite de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs de personnaliser leurs recettes de gravure pour correspondre à leurs exigences spécifiques d'appareil.