Occasion GASONICS / NOVELLUS PEP Iridia #9102816 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS PEP Iridia est un équipement avancé de gravure/asher conçu pour le traitement des plaquettes sous 300mm. Il peut être utilisé dans un large éventail de procédés tels que photorésist et stripping, couches barrières, isolation de tranchées peu profondes, et couches de composés III-V. GASONICS PEP Iridia est construit sur la technologie de gravure avancée et dispose de livraison de gaz synchrone (SGD) avec interface de verrouillage de charge double plaquette. Cela permet de contrôler avec précision les produits chimiques utilisés, ce qui permet une application très précise des espèces de gravures souhaitées. NOVELLUS PEP IRIDIA est capable de contrôler avec précision le rapport des espèces actives dans l'estchant, ce qui permet une grande uniformité du produit et des spécifications de processus améliorées. L'échange de gaz à fréquence variable (VFGE), qui permet des processus interchangeables sur toutes les configurations du système, est également en vedette. PEP IRIDIA est une unité de gravure entièrement intégrée qui peut traiter plusieurs tailles de plaquettes. Il est conçu pour le chargement et le déchargement continus des plaquettes, avec un logiciel qui permet des processus individuels des plaquettes. La machine peut être intégrée à une gamme de capteurs avancés qui sont connectés à l'outil, permettant de surveiller le processus en temps réel. Ceci augmente la précision et la stabilité du processus de gravure. NOVELLUS PEP Iridia dispose également d'un contrôle de température amélioré et de précision avec un outil de profilage thermique entièrement automatisé. Il est assorti d'un modèle de contrôle des gaz très flexible qui permet les derniers processus PECVD et ICP. Dans l'ensemble, PEP Iridia est un équipement avancé de gravure/asher conçu pour le traitement des plaquettes sous 300mm. Il dispose d'une gamme de technologies avancées pour permettre la précision, la stabilité et la précision pendant le processus de gravure et d'une gamme de logiciels qui permet la flexibilité et la personnalisation.