Occasion GASONICS / NOVELLUS Sierra #9312059 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Sierra est un graveur et asher de pointe aux capacités évoluées et polyvalentes. Le dispositif dispose d'une chambre à vide, d'une buse à vide et de plates-formes de traitement uniformes, permettant une gravure et une cueillette précises et contrôlées des petits substrats. Le procédé de dépôt à basse température (LTD) permet un dépôt très mince. GASONICS Sierra est un outil critique pour la fabrication de circuits intégrés (IC), permettant l'enlèvement de couches de matériau ou le dépôt d'une ou plusieurs couches minces de matériau. Il est capable à la fois d'asher plasma et de gravure sèche, chaque procédé étant utilisé pour des applications différentes. L'etchant peut être choisi pour accueillir au mieux le substrat de plaquette spécifique et le matériau de couche en cours de traitement. NOVELLUS Sierra offre un débit élevé et est efficace dans la gravure de tous les types de matériaux, y compris l'aluminium, le silicium polycristallin, l'oxynitrure de silicium et les métaux réfractaires. Il a une large gamme de températures, permettant une variété de processus de gravure. Il est très fiable et efficace, ce qui permet un nombre maximum d'exigences de rugosité de bord de ligne (LER) et de dimension critique (CD). Cela le rend idéal pour une utilisation dans la fabrication d'IC de haute qualité. Sierra dispose également d'une grande capacité de chambre, permettant la manipulation d'un grand nombre de substrats. Il est capable d'enlever le matériau en vrac rapidement et efficacement tout en fournissant un haut degré de précision. Avec la capacité de transférer les substrats efficacement, GASONICS/NOVELLUS Sierra offre une grande flexibilité, permettant un dépôt et une élimination des matériaux efficaces. GASONICS Sierra est conçu pour la fabrication d'IC, avec des procédés nécessitant des couches minces et une haute résolution. Il offre une excellente fiabilité, performance et flexibilité, ce qui en fait un graveur et asher idéal pour les applications IC.
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