Occasion GASONICS / NOVELLUS Strata #293760972 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Strata est un équipement de gravure/ashing conçu pour fournir un traitement rapide et fiable et des résultats de haute qualité. Ce système utilise la technologie de gravure chimique assistée par laser pour éliminer le matériau cible rapidement et avec précision, ce qui le rend idéal pour des applications de haute précision telles que la microfabrication, la photonique et le MEMS. L'unité peut être configurée pour traiter une gamme de matériaux, ce qui la rend adaptée à une variété d'applications incluant, sans s'y limiter, le traitement de plaquettes, la gravure diélectrique, l'enlèvement de matériaux implantés et la formation de circuits. Au cœur de la machine se trouve le processeur GASONICS Strata, une unité de commande robuste et facile à utiliser dotée d'une interface graphique intuitive. L'outil fournit un régime de processus précis et automatisé assuré par le puissant compilateur de séquence de processus. Le processeur ASIC permet des processus rapides, fiables et reproductibles, ce qui le rend idéal pour des opérations de production à haut volume. L'actif est équipé d'une variété d'options de manutention de plaquettes, telles que le nettoyage automatisé, la purge N2 et la cuisson sous vide, ainsi que d'un choix de chambres de processus avancées, de petites chambres de 50 mm carrés à de grandes chambres pour les plaquettes de 300 mm. Des systèmes de distribution de gaz hautement efficaces assurent des flux et des transferts de gaz sûrs et précis, et la surveillance et le contrôle de l'environnement assurent la traçabilité et l'assurance de la qualité des processus. NOVELLUS Strata dispose également d'options avancées de suivi des processus et de contrôle des retours, garantissant des résultats cohérents et des rendements d'appareil supérieurs. Le modèle peut surveiller les variations de processus en temps réel, lui permettant d'ajuster automatiquement les paramètres de processus pour maintenir les performances cibles. L'équipement prend également en charge l'intégration avec une foule de solutions de métrologie et d'analyse, des images SEM à la fluorescence aux rayons X, lui permettant d'analyser les résultats réels des plaquettes pour assurer une adhésion étroite aux cibles de processus. Strata a été conçu pour fournir une solution de traitement rapide, fiable et efficace pour la gravure, l'ashing et d'autres processus pertinents. Les caractéristiques avancées du système lui permettent d'offrir des performances et une fiabilité supérieures, ce qui le rend adapté à des applications de haut volume et de haute précision telles que la microfabrication, la photonique et la production de dispositifs MEMS.