Occasion GASONICS / NOVELLUS System #293749801 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Equipment, souvent appelé un système GASONICS graveur ou asher, est un outil de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les processus de gravure et de nettoyage dans la fabrication de circuits intégrés. NOVELLUS Unit intègre la technologie innovante développée par GASONICS et NOVELLUS Systems, les principaux fabricants d'équipements semi-conducteurs, pour offrir une grande précision et efficacité dans les applications de gravure et de cendrage. La machine fonctionne selon les techniques de gravure plasma et asher, qui impliquent l'utilisation de gaz réactifs et de plasma pour éliminer les matériaux de la surface des plaquettes semi-conductrices. Ces processus sont essentiels pour créer des motifs et des structures complexes sur la surface de la plaquette, ce qui est crucial pour le développement de dispositifs semi-conducteurs modernes. Les composants clés de l'outil GASONICS/NOVELLUS comprennent la chambre de processus, la livraison de gaz GASONICS Asset, la source d'énergie RF, le modèle NOVELLUS sous vide et l'interface de contrôle. La chambre de procédé est l'endroit où la plaquette subit des processus de gravure ou de cueillette, et elle est conçue pour maintenir un environnement contrôlé propice à la génération de plasma. L'équipement de distribution de gaz introduit des gaz réactifs dans la chambre, qui interagissent avec le plasma pour faciliter les réactions de gravure ou de cueillette. La source d'énergie RF fournit l'énergie nécessaire pour créer et maintenir le plasma dans la chambre. En appliquant la puissance RF à des fréquences et des niveaux de puissance spécifiques, GASONICS/NOVELLUS System peut contrôler l'intensité et l'uniformité du plasma, influençant la vitesse de gravure ou de cueillette et la sélectivité. L'unité GASONICS sous vide assure le maintien de la chambre au niveau de pression souhaité, critique pour la stabilité du plasma et le contrôle du processus. L'interface de contrôle de NOVELLUS Machine permet aux opérateurs de programmer et de surveiller les paramètres du processus de gravure ou d'ashing en temps réel. Grâce à une interface conviviale, les opérateurs peuvent définir les débits de gaz désirés, les réglages de puissance RF, les temps de traitement et d'autres variables pour atteindre les profils de gravure et les débits d'enlèvement de matériaux désirés. L'un des principaux avantages de Tool est sa répétabilité et son homogénéité élevées, essentielles pour un contrôle serré des procédés dans la fabrication de semi-conducteurs. GASONICS/NOVELLUS Asset est équipé de capteurs avancés et de capacités de surveillance pour garantir des performances cohérentes sur les lots de plaquettes, minimisant les variations de profondeur de gravure et les dimensions critiques. En outre, GASONICS Model offre un haut degré de flexibilité de processus, permettant la personnalisation des recettes de gravure et d'ashing pour s'adapter à une large gamme de matériaux et de conceptions d'appareils. Cette polyvalence rend NOVELLUS Equipment bien adapté aux activités de recherche et développement, ainsi qu'aux environnements de production à haut volume. En conclusion, System représente une solution de pointe pour les applications de gravure et d'asher dans l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à la technologie plasma de pointe et à des fonctions de contrôle sophistiquées, GASONICS/NOVELLUS Unit permet aux fabricants de semi-conducteurs de réaliser des processus d'enlèvement de matériaux précis et fiables, essentiels à la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs.