Occasion GASONICS PEP Iridia #9293817 à vendre en France

GASONICS PEP Iridia est un graveur/asher de haute précision utilisé pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs avancés tels que les transistors haute tension, la photoélectronique et les dispositifs optoélectroniques. Il est construit sur une plate-forme entièrement automatisée de 400 mm et dispose d'une optique à balayage au laser et d'un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à double source, multi-gaz. Le graveur/asher utilise un nouveau procédé plasma non oxydant qui ne nécessite pas d'étapes de gravure supplémentaires et fournit une qualité de film élevée et une excellente uniformité sur n'importe quel type de substrat. PEP Iridia est équipé de plusieurs outils pour le contrôle et la répétabilité des processus, y compris un équipement avancé de moniteur optique in situ. Son système de contrôle adaptatif maintient automatiquement des paramètres de dépôt tels que la température, la pression, les débits de gaz et les vitesses de gravure, afin d'assurer des processus de fabrication de dispositifs à faible variation et répétables. De plus, l'unité intégrée de surveillance des processus aide également à atteindre des processus précis au niveau des wafers avec une uniformité uniforme entre les wafers. GASONICS PEP Iridia dispose d'une machine robotique sophistiquée qui assure le chargement, la récupération, le tri et d'autres fonctions. Il offre des performances exceptionnelles en termes d'épaisseur, d'uniformité, de précision et d'intégrité de ligne. Cela le rend adapté à la fabrication de semi-conducteurs avancés, de circuits multicouches et de photomasques à haute résolution à haut rapport d'aspect. PEP Iridia dispose également d'un panneau de distribution de gaz intégré qui permet un débit de gaz optimal dans le processus de gravure. Le contrôleur intégré ajuste les mélanges de gaz pour assurer le contrôle des processus et optimiser la gestion thermique. De plus, avec le moniteur de processus dynamique intégré, l'outil permet un suivi de processus précis et fournit des données de processus en temps réel. GASONICS PEP Iridia est un graveur/asher haute performance qui est conçu pour produire des résultats uniformes, reproductibles et de haute qualité, même sur les substrats les plus difficiles. Sa conception intelligente et son interface conviviale le rendent adapté au développement d'appareils et à l'optimisation des processus dans un large éventail d'applications de semi-conducteurs.