Occasion GIGALANE / MAXIS 300LCH #293757444 à vendre en France

GIGALANE/MAXIS 300LCH est un équipement de pointe conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe combine des capacités de gravure de précision et d'ashing, ce qui en fait un outil polyvalent pour la création de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Le système dispose d'une construction robuste et d'un logiciel de contrôle sophistiqué, permettant un contrôle précis des paramètres du processus de gravure et d'ashing. Principales caractéristiques : 1. Capacité de gravure : MAXIS 300LCH est équipé d'une technologie de gravure de pointe qui permet l'enlèvement précis du matériau des plaquettes semi-conductrices. L'unité utilise une combinaison de techniques de gravure chimique et à base de plasma pour obtenir des taux de gravure élevés et une excellente uniformité sur la surface de la plaquette. Cette capacité est essentielle pour créer des motifs et des structures complexes sur la plaquette, comme des tranchées, des vias et des trous de contact. 2. Capacité d'aspiration : En plus de la gravure, GIGALANE 300LCH offre une capacité d'aspiration pour enlever les photorésist et autres matières organiques de la surface de la plaquette. L'ashing est une étape critique du processus de fabrication des semi-conducteurs car il nettoie la surface de la plaquette avant les étapes de traitement ultérieures. La technologie de cendrage de la machine assure l'élimination efficace et complète des matières organiques tout en minimisant les dommages aux couches sous-jacentes. 3. Source de plasma : Les processus de gravure et de cueillette en 300LCH sont dirigés par une source de plasma à forte puissance. La source plasmatique génère des espèces réactives qui interagissent avec la surface de la plaquette, facilitant les réactions de gravure et de cueillette. La source de plasma de l'outil est très stable et peut être ajustée pour atteindre des conditions de processus spécifiques, telles que l'énergie ionique, la densité ionique et la composition gazeuse, pour une performance optimale du procédé. 4. Contrôle des processus : GIGALANE/MAXIS 300LCH est équipé de fonctions avancées de contrôle des processus qui permettent un ajustement précis des paramètres des processus en temps réel. Le logiciel de contrôle de l'actif permet aux utilisateurs de surveiller et d'optimiser les taux de gravure et de cendres, l'uniformité, la sélectivité et la détection du point final. Ce niveau de contrôle assure des résultats de processus cohérents et reproductibles, essentiels pour obtenir un rendement de dispositif élevé dans la fabrication de semi-conducteurs. 5. Manutention des plaquettes : MAXIS 300LCH dispose d'un modèle sophistiqué de manutention des plaquettes qui assure un traitement fluide et efficace des plaquettes semi-conductrices. L'équipement supporte une large gamme de tailles et de types de plaquettes, y compris le silicium, les semi-conducteurs composés et les substrats en verre. Le système de manutention des plaquettes comprend des bras robotiques, des mandrins de plaquettes et des mécanismes d'alignement pour un positionnement et un transfert précis des plaquettes tout au long du processus de gravure et de cueillette. 6. Caractéristiques de sécurité : La sécurité est une priorité absolue dans la fabrication de semi-conducteurs, et GIGALANE 300LCH est équipé de caractéristiques de sécurité complètes pour protéger les opérateurs et l'équipement. L'unité comprend des embrayages, des capteurs de gaz, des systèmes d'échappement et des boutons d'arrêt d'urgence pour prévenir les accidents et assurer un environnement de travail sûr. De plus, la machine répond aux normes de l'industrie en matière de manipulation et de confinement des produits chimiques afin de minimiser l'impact sur l'environnement. En conclusion, 300LCH est un outil de pointe de graveur/cendrier qui offre des capacités de gravure et de cendrage avancées pour la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa source de plasma haute performance, à son contrôle précis des processus et à ses moyens de manutention robustes, GIGALANE/MAXIS 300LCH est bien adapté à la création de dispositifs semi-conducteurs complexes avec une grande précision et fiabilité. Cet équipement est essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des performances et des rendements supérieurs sur le marché concurrentiel actuel.