Occasion HENNIKER Nebula 50 #293754252 à vendre en France

HENNIKER Nebula 50 est un équipement de pointe de graveur/asher conçu pour les procédés avancés de traitement de surface dans les industries du semi-conducteur, du MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) et de l'optoélectronique. Cet équipement hautement spécialisé combine les fonctionnalités de gravure et d'ashing pour fournir une plate-forme polyvalente pour des applications précises d'enlèvement et de nettoyage au niveau nanométrique. La technologie de base de Nebula 50 est basée sur une source de plasma haute performance RF (Radio Frequency), qui génère un environnement plasma contrôlé qui peut efficacement graver ou cendrer un large éventail de matériaux avec une grande uniformité et répétabilité. Le système dispose d'une chambre à vide robuste avec des capacités précises de contrôle du débit de gaz et de gestion de la température pour garantir des conditions de processus optimales pour différents types et tailles de substrat. L'un des points forts de HENNIKER Nebula 50 est sa polyvalence dans la manipulation de divers types de matériaux, dont le silicium, le dioxyde de silicium, les métaux, les polymères et autres matériaux exotiques utilisés dans les procédés avancés de semi-conducteurs et de microfabrication. L'unité offre une large gamme de gaz de procédé et de mélanges de gaz pour adapter la chimie du plasma aux exigences spécifiques d'enlèvement ou de nettoyage des matériaux. La capacité de gravure de Nebula 50 permet d'enlever sélectivement des couches de matériaux à la surface du substrat pour créer des motifs complexes, des tranchées ou des vias avec des rapports d'aspect élevés et une résolution de sous-microns. Cette capacité est cruciale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés, de capteurs MEMS et de composants optiques avec des géométries et des dimensions précises. D'autre part, la fonction asher de la machine fournit un outil puissant de nettoyage et de modification de surface pour éliminer les contaminants organiques, les photorésistants ou les résidus de polymères de la surface du substrat sans endommager le matériau sous-jacent. Ce procédé est essentiel pour l'élimination des résidus après gravure, la récupération des plaquettes et la préparation de surface avant les étapes ultérieures de traitement telles que le dépôt ou la lithographie. HENNIKER Nebula 50 est équipé de diagnostics plasma avancés et d'outils de surveillance des processus pour assurer le contrôle et l'optimisation en temps réel des processus de gravure et d'ashing. Des paramètres tels que la densité du plasma, l'énergie ionique, les pressions partielles du gaz et la température du substrat peuvent être réglés avec précision pour atteindre le taux d'élimination du matériau désiré, la sélectivité et la qualité de surface. En outre, l'outil dispose d'une interface conviviale avec un contrôle logiciel intuitif pour la configuration facile de la recette, l'ajustement des paramètres du processus et l'analyse des données. Nebula 50 est conçu pour une intégration homogène dans des lignes de production automatisées ou des laboratoires de recherche, offrant un haut débit et une efficacité élevée dans les applications de traitement de surface. Dans l'ensemble, HENNIKER Nebula 50 représente une solution de pointe pour des applications de gravure et d'asher exigeantes dans l'industrie des semi-conducteurs, permettant un traitement précis des matériaux avec des performances et une flexibilité exceptionnelles. Sa technologie de pointe, sa conception robuste et son fonctionnement convivial en font un outil polyvalent pour repousser les limites de l'ingénierie nanométrique et de la fabrication.