Occasion HITACHI M 308 #9271719 à vendre en France
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ID: 9271719
Metal etcher
Transformer box
RF Generator
Remote console
SHIMADZU Power source
Microwave generator
Cooling pump
Stainless steel doors
Spare parts.
HITACHI M 308 etcher/asher est un équipement de gravure et ashing haute performance qui est conçu spécifiquement pour être utilisé dans le développement et la production de dispositifs semi-conducteurs. Il est équipé des derniers systèmes automatisés de contrôle et de surveillance des processus et est très fiable et efficace. Le système est une unité de gravure et de cendrage entièrement intégrée capable de traiter un large éventail de substrats, tels que des plaquettes de silicium, des substrats d'arséniure de gallium et d'autres substrats. Il est capable à la fois de graver et d'aspirer une seule plate-forme, avec un débit élevé et une excellente uniformité de surface. La machine est équipée d'un équipement de précision avancé, y compris une chambre de gravure et de cueillette de haute précision, un circulateur de gaz/chambre de douche, et un outil de carrousel de plaquette de substrat. La chambre de gravure et la chambre de circulation/douche disposent d'un atout d'alimentation automatique en gaz (AGS), qui permet à l'utilisateur de contrôler l'alimentation en gaz de manière très précise. Le modèle etcher/aser dispose également d'un équipement sophistiqué de suivi de substrat, qui vérifie automatiquement l'état du substrat pendant les processus de gravure et de cueillette, et signale toute anomalie ou erreur. L'unité de contrôle de la température du système assure le maintien des températures de gravure et de cendrage souhaitées tout au long du processus, tandis que la machine de distribution de gaz permet à l'utilisateur de sélectionner le niveau de vide désiré, qui peut être utilisé pour contrôler la vitesse de gravure. L'outil est également équipé d'un actif avancé de traitement d'image, qui peut être utilisé pour analyser et évaluer les substrats avant et après les processus de gravure et de cueillette. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'optimiser la vitesse de gravure et d'ashing pour chaque matériau de substrat spécifique. HITACHI M-308 est un modèle fiable, efficace et hautement automatisé capable de manipuler un large éventail de matériaux de substrat. Ses systèmes automatisés de contrôle et de surveillance des processus le rendent facile à utiliser et hautement fiable, tandis que ses fonctionnalités avancées et ses équipements flexibles de manutention des substrats en font le choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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