Occasion HITACHI M 308AE #293799539 à vendre en France
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ID: 293799539
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Missing parts:
Micro computer cooling fan
AC Dry Pump A30W
BR Dry pump A30W
EC Dry pump A30W
EC TMP
TMP controller
Chamber process kit
Chiller
Pump
Scrubber
Transfer robot
LL System
Chamber system: EC, AC
Micro PC
EC wafer clamp
EC electrode cover
EC ground electrode.
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