Occasion HITACHI M 318SX #136433 à vendre en France
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ID: 136433
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Dry etcher, 8", 1994 vintage.
HITACHI M 318SX est un instrument graveur/asher à semi-conducteur développé pour effectuer avec précision et efficacité divers processus de gravure LE (Lithographie). Conçu pour des applications semi-conductrices établies, M 318SX est un graveur/asher de gabarit complet capable de produire des dispositifs multicouches ultra-minces, ce qui est rendu possible grâce à sa conception électromécanique de précision. HITACHI M 318SX utilise un équipement de fabrication multiple (MPS) pour modeler avec précision et efficacité les structures de précision, tout en fournissant des résultats de film polymère de haute qualité. M 318SX dispose d'une solution de processus intégrée (IPS) capable de réduire les caractéristiques de ligne et d'espace jusqu'à 0,25 microns, tout en offrant une gamme complète de capacités, y compris le simple, le double et le triple couplage. HITACHI M 318SX exécute des processus de gravure et de cendrage du plasma à haute intensité ionique, y compris la gravure du dos, la gravure par surenchère et la gravure anisotrope sélective par gravure (SEAE), qui peuvent être utilisés pour former des canaux et des tranchées à haut rapport d'aspect. M 318SX dispose d'un système d'imagerie 3D haute résolution qui est couplé avec un FIB/SEM haute résolution pour une gravure extrêmement précise. HITACHI M 318SX est également capable de réaliser des processus de gravure électrochimique et humide, selon le matériau et les caractéristiques gravés. M 318SX est excellent pour les processus en une ou plusieurs étapes et peut être facilement intégré avec des systèmes automatisés de contrôle des processus. En outre, HITACHI M 318SX est également équipé d'un grand écran tactile, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'interface pour un maximum d'efficacité et de commodité. M 318SX est une unité extrêmement polyvalente et très efficace pour produire des structures de gravure et d'asher de précision pour une variété de processus LE. Utilisant ses puissantes capacités MPS et IPS, couplées à son imagerie haute résolution et FIB/SEM, HITACHI M 318SX est capable de produire des dispositifs multicouches ultra-minces avec des résolutions de fonctionnalités incroyablement fines. M 318SX est une solution idéale pour les utilisateurs expérimentés de semi-conducteurs à la recherche d'une machine qui offre des performances exceptionnelles et un contrôle de processus inégalé.
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