Occasion HITACHI M 501 #9161262 à vendre en France

HITACHI M 501
Fabricant
HITACHI
Modèle
M 501
ID: 9161262
Dry etcher.
HITACHI M 501 est un graveur/asher polyvalent léger et polyvalent qui offre une excellente performance et fiabilité dans une grande variété de processus. M 501 offre des capacités de gravure et de cueillette avec une température maximale de 950 ° C, avec une option supplémentaire jusqu'à 1100 ° C Cette combinaison fournit des procédés avancés tels que l'amincissement des plaquettes solaires, via l'isolement des trous, et la fabrication avancée de MEMS. La plaquette est placée sur une cassette et chargée dans la chambre supérieure de HITACHI M 501, tandis que la chambre inférieure abrite le gaz de procédé et la bobine de radiofréquence. M 501 a une largeur de 12 ", une profondeur de 16", et une hauteur de 14 "à 63 lb et est conçu pour s'adapter à la plupart des espaces de laboratoire disponibles. HITACHI M 501 dispose d'une suite de dispositifs d'arrêt de sécurité interne, y compris une protection contre les surtensions et les surpressions. La conception interne de la M 501 comprend trois blocs indépendants de chauffage au graphite et trois chambres de protection indépendantes pour les chambres de traitement supérieures et inférieures. HITACHI M 501 fonctionne en mode manuel ou automatique, qui est programmable grâce à son propre logiciel propriétaire. Une fois le processus lancé, la pression interne, la température et le débit de gaz peuvent être surveillés et enregistrés à partir du panneau tactile LCD couleur. Les capteurs M 501 permettent également un contrôle précis de la température et de la pression pour assurer une gravure ou une cueillette cohérente de la plaquette. HITACHI M 501 utilise également des technologies d'auto-polarisation, comme l'etcher Heimann, qui permet des vitesses de traitement extrêmement élevées allant jusqu'à 1200 wafers par heure. Ceci augmente le débit et l'uniformité du processus de gravure ou de cueillette. De plus, la chambre est autonome, ce qui signifie qu'elle est hermétiquement fermée et ne nécessite pas de salle blanche pour fonctionner. Cela ouvre la possibilité de migrations de processus, tout en permettant M 501 d'être utilisé chaque fois que nécessaire dans une variété de laboratoires ou de cadres industriels différents. Dans l'ensemble, HITACHI M 501 est un graveur/asher fiable et efficace qui peut être utilisé dans une grande variété d'applications. Sa conception hermétiquement scellée assure un processus propre, et la suite de paramètres de sécurité assure qu'il peut être exploité en toute tranquillité d'esprit. Avec ses commandes conviviales et ses fonctionnalités avancées, M 501 est un choix idéal pour les applications industrielles et de laboratoire.
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