Occasion HITACHI M 511 #9257744 à vendre en France

HITACHI M 511 est un graveur/asher qui fait partie de la famille de produits HITACHI. Il est conçu pour la gravure et la cueillette de substrats minces. HITACHI M-511 est un équipement multi-canaux avec quatre canaux de gravure et/ou de cueillette distincts capables de fonctionner indépendamment ou simultanément afin de fournir un traitement à haut débit. Il est conçu avec un vide capable de produire aussi bas que 0,01 Torr, permettant un fonctionnement optimal dans la gravure/cueillette de matériaux en couches minces. Le M 511 est équipé de capacités de nivellement et de découpage de voies pour assurer une uniformité et un courant électrique constant pour chaque plaquette. De plus, le système comporte une unité de contrôle d'épaisseur de film qui compense automatiquement toute légère dérive de la vitesse de gravure/cendres du substrat. La machine de sécurité intégrée empêche la surgravure ou le surchargement des substrats pour éviter que les matériaux délicats ne soient endommagés lors du traitement. M-511 est livré avec un régulateur de débit d'azote intégré qui contribue à assurer un environnement de traitement sûr et efficace. Avec son design robuste, HITACHI M 511 peut traiter jusqu'à 150 plaquettes par heure et est un outil polyvalent pour atteindre des exigences précises de gravure et d'ashing.