Occasion HITACHI M 511AE #9133920 à vendre en France
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ID: 9133920
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Plasma etching system, 8"
System configuration: 3-Poly CH
Etching CH gases: N2, SF6, CL2, CF4, Ar, O2
Gas Jungle Information :
N2 : STEC7440-20SCCM, STEC4400-200SCCM
SF6 : STEC7440, 20SCCM, 300SCCM
Cl2 : STEC7440-50SCCM, STEC4400-200SCCM
CF4 : STEC7440, 50SCCM
O2 : STEC4400, 2SLM
Ar : STEC7440, 300SCCM
HW Unit :
PC Rack
Transfer box
Main body
Chiller
1996 vintage.
HITACHI M 511AE Asher/Etcher est un outil de traitement micro-soustractif de haute technologie conçu pour les applications industrielles et de recherche. Ce dispositif est capable de contrôler la gamme des techniques de gravure et de pulvérisation chimiques utilisées pour le revêtement, le dépôt et l'élimination de matériaux à l'échelle nanométrique. Caractérisé par sa construction robuste et sa capacité multistorage, le HITACHI M 511 AE offre aux utilisateurs les fonctions et les améliorations nécessaires pour traiter une grande variété de processus de fabrication d'échantillons. M 511AE est équipé d'un collecteur industriel robuste, idéal pour traiter de grandes commandes de processus, ainsi que des options de puissance flexibles, configuré sur mesure pour un large éventail d'exigences spécifiques à l'échantillon. Le dispositif est chargé d'un certain nombre de composants de fixation dédiés, y compris des alimentateurs rotatifs, un chargeur source et des conteneurs de stockage multi-niveaux, chacun optimisé pour un contrôle précis des paramètres et des performances robustes. Le tube de distribution de gaz de précision fournit des temps de séjour définis par l'utilisateur et peut être ajusté pour répondre aux besoins de diverses espèces gravées. M 511 AE est capable de traiter une variété de substrats, y compris des métaux, des polymères, des alliages, des céramiques et des céramiques avec des métaux. La généreuse ouverture d'alimentation 4 "de la chambre permet aux utilisateurs d'introduire facilement des échantillons de granulométrie plus rugueuse dans n'importe quelle orientation souhaitée, sans endommager les surfaces de l'échantillon. Le système de vide intégré 511AE garantit une gravure respectueuse de l'environnement dans un environnement contrôlé. En plus de ses capacités de gravure et de pulvérisation, HITACHI M 511AE a la capacité d'effectuer d'autres techniques de traitement, telles que le broyage à billes et le dépôt électrique d'impulsions. La flexibilité du dispositif est encore renforcée par un temps de cycle réglable et un contrôle de température uniforme pour assurer des résultats de gravure répétables sans distorsion. Avec des réglages programmables, HITACHI M 511 AE est idéal pour les processus répétitifs et fournit des substrats de la plus haute qualité avec la plus grande précision et répétabilité. M 511AE est certifié de sécurité et est conçu pour se conformer aux normes de sécurité de l'industrie. Des caractéristiques de conception réfléchies, comme la vanne d'arrêt sans panne, un système de détection de module robuste et une boîte de commutation fermée, sont conçues pour protéger et préserver les échantillons délicats, assurer la précision du processus et réduire les risques de blessures et de dommages à l'équipement. M 511 AE est un graveur/asher de technologie avancée, idéal pour une utilisation dans les ateliers de moteurs, les laboratoires de microfabrication et les installations de recherche. La facilité de fonctionnement, combinée à des performances supérieures, garantit que les résultats sont toujours fiables et précis.
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