Occasion HITACHI M-602 #9364269 à vendre en France
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HITACHI M-602 est un dispositif de gravure ou de cueillette largement utilisé conçu pour effectuer des processus de gravure et de cueillette sur des plaquettes. Il s'agit d'un outil utilisé dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices et est utilisé pour graver des couches indésirables de matériaux de la surface de la plaquette. M-602 peut être utilisé pour fabriquer une gamme de plaquettes telles que le silicium monocristallin et le silicium sur des plaquettes isolantes (SOI). HITACHI M-602 dispose d'une chambre de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) qui est capable d'effectuer des processus de cendrage à grande vitesse. Il est équipé d'un générateur de radiofréquences qui est très efficace et produit des rejets de plasma de longue durée. La chambre PECVD est optimisée pour créer une atmosphère modifiée afin de faciliter les processus de gravure et de cueillette. En outre, la chambre PECVD dispose d'une fenêtre en quartz qui permet une observation claire des progrès du traitement du plasma. M-602 dispose également d'un équipement de transfert de plaquettes qui peut transférer des plaquettes de la chambre PECVD vers un système d'analyse ou un plateau de manutention. L'unité de transfert de plaquettes est conçue pour un positionnement de plaquettes de haute précision, offrant aux utilisateurs la capacité de graver et de graver avec précision les plaquettes. En outre, HITACHI M-602 est équipé d'une machine de traitement automatique du dos qui fournit un processus de nettoyage automatisé du dos de la plaquette. M-602 fournit plusieurs modes opérationnels qui sont adaptés aux exigences spécifiques des différents types de traitement des plaquettes. Il est également livré avec un outil d'exploitation intégré (OSI) qui permet aux utilisateurs d'ajuster et de stocker les paramètres des processus de gravure/ashing. De plus, HITACHI M-602 dispose également d'une gamme d'outils de diagnostic comprenant un actif de surveillance hors ligne, des capteurs de température/pression et d'autres fonctions de sécurité/surveillance diverses. Dans l'ensemble, M-602 est un dispositif de gravure/cueillette avancé spécifiquement conçu pour effectuer des processus de gravure et de cueillette sur des plaquettes. Il dispose d'une multitude de fonctionnalités et de fonctions qui lui permettent de favoriser des processus de gravure et de cueillette de haute précision. HITACHI M-602 est facile à utiliser et peut être adapté aux exigences de différents types de plaquettes et d'applications. En outre, M-602 est conçu pour fournir un résultat fiable et efficace.
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