Occasion HITACHI M 712 #9314719 à vendre en France

HITACHI M 712 est un graveur/asher idéal pour une large gamme d'applications de photolithographie, de métallisation et de traitement de semi-conducteurs. L'outil présente des caractéristiques économiques et de performance de pointe, y compris un alignement automatisé des plaquettes de haute précision, un débit ultra-haut débit et une large gamme de capacités de dépôt/gravure. Le système de micro-traitement est conçu avec une taille maximale de plaquette de 8 pouces, ce qui permet une productivité élevée et une précision améliorée des caractéristiques. Le graveur/asher utilise un mécanisme en deux étapes, qui combine gravure ionique réactive ionique libre avec gravure d'assistance chimique pour une qualité de gravure supérieure sans effet néfaste de l'arc électrique. Les plasmas doubles garantissent une gravure plus efficace des géométries serrées avec moins de dommages au substrat et une gravure plus uniforme. Le graveur/asher utilise également une plaque de douche séparée brevetée, un dépôt J et une intégration sous vide pour obtenir une vitesse et un débit de gravure ultra-élevés. La plaque de douche fendue aide à minimiser le désalignement du masque et offre un contrôle d'épaisseur supérieur. La technologie J-filing minimise le temps de développement de la gravure et permet d'effectuer la gravure à partir du bord. L'intégration sous vide scelle étroitement la chambre et réduit la contamination de l'extérieur. Le système est livré avec une interface utilisateur graphique basée sur Windows qui permet une programmation et un suivi faciles des recettes. Les fonctions de contrôle intégrées, y compris la rétroaction sur la génération d'ions et l'état du flux de gaz, permettent un contrôle précis du processus avec un débit élevé. En outre, l'outil est livré avec un programme de diagnostic avancé qui surveille en permanence les performances du système et offre des options d'enregistrement de données. En outre, M 712 intègre diverses caractéristiques de sécurité, dont un moniteur de densité ionique, des capteurs de température, des manomètres et des systèmes de passage. Le capteur de pression signale des changements de pression dans la chambre et peut être utilisé pour détecter des conditions anormales, tandis que les dispositifs de sécurité intégrés fournissent des signaux d'avertissement en cas de situation anormale. Cela garantit un processus sûr et efficace. Dans l'ensemble, HITACHI M 712 est un graveur/asher idéal pour une grande variété d'applications de photolithographie, de métallisation et de traitement de semi-conducteurs. Ses performances supérieures et ses caractéristiques de sécurité en font un excellent choix pour les utilisateurs qui apprécient la qualité et l'efficacité.