Occasion HITACHI M 712E ECR #9172571 à vendre en France
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ID: 9172571
Taille de la plaquette: 8"
Plasma etcher, 8"
Wafer loading module:
(3) Cassette load ports
Four-axes robot
Wafer centering unit: Notch alignment and centering
Fan filter unit
Buffer / Loadlock chamber:
Two-axes robot
Buffer turbo molecular pump
Man / Machine interface:
PC with Magnetic / Optical drive
LCD Display
Keyboard / Pointer
(2) ECR etch chambers
(2) Gas boxes
One per chamber: Ar, Cl2, SF6, HBr, CF4, CHF3, O2, spare
(2) Capacitance manometers
Penning gauge
Microwave power monitor / Auto tuner
Chamber temperature control module
Etch turbo molecular pump
Etch coil magnet: 3-Coil type
Coil cooling water flow sensors
Dual input endpoint detection system
Backside Helium cooling
(2) Power supply units - One per chamber
(2) EC Temperature controllers - One per chamber
Facility interface box
Transformer box
FFB Unit.
HITACHI M 712E ECR est une machine de gravure/cendrage électrochimique de qualité supérieure conçue pour un large éventail d'applications. L'appareil est compact, facile à utiliser et offre des résultats de haute qualité grâce à sa capacité à graver/cendres rapidement et avec précision une grande variété de matériaux. La machine utilise un système multi-axes unique qui comprend un axe de broche, un axe d'alimentation et un axe Y. Les axes X, Y et Z sont alimentés par des servomoteurs, tandis que l'axe fonctionne de façon autonome. La machine est capable de graver/ashing sur une gamme de matériaux, des plastiques et des métaux à la pierre, la céramique et le verre. M 712E ECR offre une précision et une vitesse fiables. L'appareil est livré avec une mémoire embarquée pour jusqu'à cinq tâches, permettant un rappel facile et une répétition rapide. Cette combinaison avec son courant continu de haute puissance rend la machine capable de traiter des applications de gravure/cendres difficiles. Il est doté d'un matériau à quartz haute résistivité qui permet d'obtenir facilement une précision de niveau professionnel, ainsi que d'un couvercle de poussière pour réduire la poussière et les débris autour de la zone d'opération. HITACHI M 712E ECR est incroyablement facile à utiliser. Il utilise une interface intuitive conviviale avec un écran tactile de 7 ", permettant à l'utilisateur d'ajuster facilement les paramètres de fonctionnement. La machine dispose également d'une fonction de préréglage automatique, assurant des résultats optimaux avec une intervention minimale de l'opérateur. Il fournit également une rétroaction en temps réel à l'opérateur, en s'assurant qu'il peut confirmer rapidement la qualité de ses résultats. M 712E ECR est une machine rentable, avec un coût de fonctionnement économique. Il est livré avec une garantie limitée de trois ans, assurant que tous les problèmes sont traités rapidement et efficacement, donnant à l'utilisateur la confiance de faire fonctionner la machine avec un minimum de temps d'arrêt. Dans l'ensemble, HITACHI M 712E ECR est une machine idéale pour les applications gravure/cendres. Son système multi-axes et son courant continu haute puissance le rendent capable d'un travail rapide et précis, tandis que son interface utilisateur intuitive et sa rétroaction en temps réel fournissent aux opérateurs un rappel et une confirmation des résultats faciles. Les coûts d'exploitation économiques de l'appareil et la garantie de trois ans en font un investissement intelligent, garantissant des résultats optimaux.
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