Occasion HITACHI M 712XT #293750872 à vendre en France

Fabricant
HITACHI
Modèle
M 712XT
ID: 293750872
Style Vintage: 2006
Etcher EPD detectors with OES and EPD computer systems SHIMADZU Turbos EDWARDS IQDP and PUP Dry pump Dual zone temperature ESC HITACHI Robots (4) Floor chillers (3) Load ports (2) Etch process chambers Chamber 1: (8) Stick gas panels Chamber 2: (10) Sticks gas panels Dual wafer substations on transfer module Process kit included 2006 vintage.
HITACHI M 712XT est un graveur et asher conçu pour graver avec précision des plaquettes, du papier, du verre et d'autres matériaux. Ce dispositif utilise la technologie d'imagerie CCD (EMCCD) à double gallium-nitrure, qui offre une résolution et un contraste améliorés, permettant un tissage extrêmement précis et un cendrage des plaquettes. L'imagerie simultanée des deux côtés d'une plaquette augmente la qualité et la stabilité du processus tandis que l'uniformité de la tête thermique la rend idéale pour les applications de processus difficiles. L'étage à grande vitesse et la vitesse de balayage rapide améliorent l'efficacité et réduisent le temps de cycle pour les applications critiques. Le dispositif comprend une unité d'acquisition d'images CCD et un contrôleur d'étage qui assure un alignement et un positionnement précis de l'échantillon. Il est également équipé d'un système de positionnement galvo de précision pour l'opération de cendrage la plus rapide et la plus précise possible, pour les applications mono et multi-échantillons. La scène peut être programmée pour un déplacement de 150 à 500 mm pour accueillir des plaquettes de différentes tailles. M 712XT offre un contrôle étendu des paramètres d'usinage et des paramètres de processus. Ceci permet des réglages rapides de paramètres tels que la profondeur de jonction, la température de recuit et la vitesse de gravure. Il offre un déclenchement externe, un signal analogique et une commande par des entrées de signaux analogiques. Le logiciel de contrôle puissant intégré permet des opérations faciles de type panneau pour permettre ces fonctions multi-modules. L'excellente performance et la facilité d'utilisation de l'appareil le rendent idéal pour des processus de photolithographie exigeants, y compris la résolution en ligne fine et le recuit de profilé profond. Sa polyvalence est encore renforcée par sa compatibilité avec divers matériaux de gravure de précision et asher, y compris le silicium, le dioxyde de silicium, le quartz et le verre silicate. {Diverses configurations de modules peuvent être utilisées pour fournir des motifs de haute précision, haute précision ou haute épaisseur.} Ce dispositif offre d'excellentes caractéristiques qui en font l'un des plus puissants graveurs et cendres disponibles. Son contrôle de vitesse de gravure ionique permet une gravure et un cendrage rapides, offrant des vitesses d'enlèvement de matière élevées. Le boîtier en acier inoxydable résistant aux produits chimiques et l'optique étanche protègent les échantillons de la contamination tandis que le porte-plaquettes monté en flexion maintient la plaquette parfaitement nivelée. HITACHI M 712XT est un système de gravure et de cueillette extrêmement polyvalent et fiable qui permet le traitement précis de matériaux difficiles. Son logiciel de contrôle puissant et précis offre un fonctionnement intuitif tandis que sa compatibilité avec divers matériaux et le contrôle rapide de la vitesse de gravure contribuent à garantir des résultats supérieurs.
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