Occasion HITACHI U-722 #150986 à vendre en France
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HITACHI U-722 est un équipement de graveur/asher conçu pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'un système de gravure sèche composé d'une source de plasma et d'une cage de Faraday. La source de plasma est constituée de modules à décharge de plasma et de RF couplés inductivement, et la cage de Faraday est une enceinte à revêtement diélectrique qui est utilisée pour protéger les plaquettes contre l'exposition directe au plasma. U-722 a une source ICP capable de générer une puissance pouvant atteindre 1 200 w et est équipée de deux sources de plasma à couplage inductif (ICP) de 400 w et de deux sources de 800 w. Le plasma est généré par un mélange gazeux d'argon, d'hydrogène et d'oxygène. Le plasma est créé par la source de plasma ICP et est contenu dans la cage de Faraday. Les plaquettes sont ensuite exposées au plasma qui produit un procédé de gravure chimique. Ce procédé de gravure élimine le matériau de la surface de la plaquette, ce qui donne des motifs qui peuvent être utilisés pour créer des structures et des composants de circuits complexes. HITACHI U-722 est une unité compacte et facile à utiliser. Le dispositif dispose d'un logiciel intuitif permettant un contrôle précis des paramètres de gravure et de l'alimentation RF, qui peut être ajusté pour fournir des résultats de gravure optimaux. Il comprend également un ordinateur intégré pour le stockage et la manipulation des données. U-722 convient à une variété de matériaux, y compris le silicium, l'oxyde de silicium, le tungstène, le titane et le nitrure de titane. Il est également adapté pour des tailles de plaquettes de 4 « à 8 », et est capable d'atteindre des vitesses de gravure jusqu'à 10 nm/min. La machine dispose également d'une large gamme de paramètres de gravure, permettant aux utilisateurs de réaliser des processus de gravure « auto-modelés ». HITACHI U-722 possède une excellente capacité de gravure et est considéré comme l'un des meilleurs systèmes de gravure sur le marché. Il est utilisé dans divers domaines, y compris la fabrication de circuits intégrés, de dispositifs optoélectroniques et de composants pour les télécommunications. U-722 est fiable, robuste et très économique, ce qui en fait une solution idéale pour de nombreux fabricants de semi-conducteurs dans le monde entier.
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