Occasion HITACHI U-722 #9211147 à vendre en France

HITACHI U-722 est une double zone, graveur de film sec et asher. Il est conçu pour une variété de procédés de gravure et d'ashing utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise un maximum de deux chambres de processus pour graver des composants de cendres à partir d'une seule plaquette. La machine est capable d'obtenir des résultats de haute uniformité pour une variété d'opérations de gravure ou de cueillette telles que le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma, le décapage photorésist, le cendrage et la gravure sèche. U-722 combine la capacité d'un système de gravure et d'un asher. Lors des opérations de gravure, la machine utilise une planche de référence chauffée recouverte d'oxyde pour une gravure précise propre aux besoins du client. Tant la carte de référence que la plaquette sous gravure reçoivent RF post-dépôt, tandis que la carte de référence fournit une surface pour maintenir la plaquette en contact avec la plaque lors de la gravure. Ceci permet une gravure rapide, efficace et uniforme du substrat. Le cendrier utilise également une plaque de référence chauffée recouverte d'oxyde pour obtenir un cendrage uniforme du substrat. L'automatisation de HITACHI U-722 facilite également son fonctionnement. Il dispose d'un contrôleur auto-séquence intégré avec contrôle de la température et de la pression de chaque chambre de processus. Le système est également facile à surveiller avec une interface utilisateur graphique, permettant aux opérateurs de surveiller le processus en temps réel. La précision de la machine est une autre caractéristique clé de la U-722. Sa gravure et son procédé de cendrage comportent un contrôle précis des gaz résiduels, permettant une grande homogénéité et de bons rendements. Sa source d'ions est également conçue pour donner une uniformité uniforme sur toute la surface de la plaquette en raison de sa conception de buse inclinée. La conception fournit également à l'opérateur une vue claire du processus de gravure ou de cueillette, assurant que toutes les opérations sont exécutées selon les spécifications exactes. Enfin, HITACHI U-722 est conçu pour un fonctionnement fiable et à faible entretien. La machine est équipée de composants faciles à utiliser, à vie et une construction hermétique de chambre qui permet une pression positive tout au long du cycle de processus. Cela permet de réduire les temps d'arrêt en raison d'un remplacement minimal des pièces. Cela fait de U-722 un choix idéal pour des opérations de gravure et de cueillette fiables, répétables et rentables.