Occasion INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 #293827895 à vendre en France
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ID: 293827895
Taille de la plaquette: 4"
Plasma ashing system, 4"
Pump / Blower models: D30A
(8) Cryopump
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Power supply.
INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 est un équipement de pointe de graveur/asher qui offre des capacités avancées de traitement du plasma pour la fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries de haute technologie. Ce système est conçu pour assurer une gravure plasma précise et uniforme de divers matériaux à haut débit et répétabilité. Il intègre des technologies et des caractéristiques de pointe pour répondre aux exigences exigeantes des procédés de fabrication modernes. L'unité utilise un procédé de gravure ionique réactive (RIE) pour enlever le matériau de la surface d'un substrat avec une précision et un contrôle élevés. Il offre également des capacités d'aspiration pour l'élimination de photorésist et d'autres contaminants organiques de la surface du substrat. Le PN-1813 est équipé de multiples ports d'injection de gaz, d'alimentations RF et de systèmes de régulation de la température pour adapter les paramètres du processus plasma en fonction des exigences spécifiques d'application. Une des caractéristiques clés de 3000 PN-1813 est sa machine à vide avancée, qui assure un environnement de traitement propre et stable. L'outil est équipé d'une pompe turbomoléculaire, d'une pompe cryogénique et de divers manomètres pour atteindre et maintenir les niveaux de vide requis pour une performance optimale de traitement du plasma. L'actif vide comprend également une chambre de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement efficaces du substrat sans compromettre les conditions de vide de la chambre de procédé. Le modèle PN-1813 est contrôlé par une interface conviviale qui permet aux opérateurs de définir et de surveiller les paramètres de processus, les profils de recettes et la rétroaction des données en temps réel. Le logiciel de l'équipement permet un contrôle précis des débits de gaz, des niveaux de puissance RF, du temps de traitement et d'autres paramètres critiques pour obtenir les résultats de gravure et d'ashing souhaités de façon cohérente. Le logiciel comprend également des outils de diagnostic pour le dépannage et la maintenance préventive afin de minimiser les temps d'arrêt et de maximiser la productivité. En termes de production de plasma, INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 utilise une source d'énergie RF haute fréquence pour créer et entretenir le plasma dans la chambre de processus. Le plasma est généré par l'application de puissance RF au mélange gazeux injecté dans la chambre, ce qui entraîne la formation d'espèces réactives qui interagissent avec la surface du substrat pour graver ou cendrer efficacement le matériau. Les alimentations du système sont conçues pour fournir une puissance RF stable et fiable pour une performance plasma constante tout au long du cycle de traitement. Le PN-1813 est construit avec des matériaux et des composants de haute qualité pour assurer la fiabilité et la durabilité à long terme dans un environnement de production. L'unité dispose d'un design ergonomique pour un accès facile à l'entretien et la fonctionnalité, permettant un dépannage rapide et efficace et le remplacement des composants au besoin. INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION offre également des programmes de formation complets et des services de soutien technique pour aider les clients à maximiser les performances et le temps de disponibilité de la machine PN-1813. En conclusion, 3000 PN-1813 outil graveur/asher représente une solution de pointe pour des applications de traitement plasma de haute précision dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries avancées. Avec ses technologies de pointe, ses capacités de contrôle précises et sa conception robuste, le PN-1813 est prêt à offrir des performances de gravure et d'ashing supérieures pour un large éventail de matériaux et de substrats, ce qui en fait un choix idéal pour les entreprises qui cherchent à obtenir des résultats de traitement du plasma de haute qualité et fiables.
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