Occasion JESAGI JSPES-W21 #293761868 à vendre en France

JESAGI JSPES-W21 est un équipement de gravure et de cendrage conçu pour assurer un traitement de haute capacité des circuits et des semi-conducteurs. Le système est équipé d'une source de plasma hyperfréquence, conçue pour la gravure à basse température, et d'une gravure chimique thermique pour le cendrage à haute température. L'unité est équipée de deux chambres de processus indépendantes à haute résolution d'une capacité de vide d'environ 200-400 mTorr, offrant une précision et un contrôle optimaux. De plus, la taille maximale de la chambre de traitement est de 800 mm x 800 mm, ce qui permet à l'utilisateur de traiter des substrats plus gros. L'unité dispose d'une combinaison unique d'une bobine inductive plane, avec une source d'énergie hyperfréquence, pour optimiser l'homogénéité des plaquettes lors de la gravure. Les capacités de rapport d'aspect vont de 0,5 : 1 à 4:1, permettant la fabrication de structures denses et peu profondes, ainsi que la microstructure de taille inférieure à 1 micron. JSPES-W21 est également équipé de capacités de contrôle automatisé avec une interface logicielle conviviale. Il permet de programmer les réglages et la gestion des recettes, avec la possibilité de sauvegarder et de rappeler les recettes de gravure et de cueillette, ainsi que de surveiller le processus en temps réel. En outre, le contrôleur logique programmable intégré (PLC) prévoit des opérations et un service matériels simplifiés, avec une machine de diagnostic et de maintenance pour réduire l'effort manuel global. JESAGI JSPES-W21 dispose également d'un robot à verrouillage vertical pour minimiser l'empreinte de l'outil et maximiser le débit de production. Le robot de verrouillage de charge peut manipuler des substrats standard et personnalisés avec une taille maximale de 200 x 200 mm, et avec un total de 10 chargeurs supérieurs et inférieurs, il verrouille un maximum de 20 plaquettes à la fois aux chambres de processus. L'outil de verrouillage de charge innovant est configuré pour faciliter la maintenance et la mise à niveau grâce à sa conception modulaire. En conclusion, JSPES-W21 est un modèle robuste et modulaire, offrant des capacités de gravure et d'ashing précises avec une automatisation programmable. L'équipement est adapté à la production à petite ou moyenne échelle, fournissant des processus de précision avec fiabilité et des temps d'exécution rapides. Avec son contrôle automatisé et sa capacité à basse température, il peut permettre la fabrication de structures diverses et complexes.