Occasion KEM / KOKUSAI Lambda 200 #9075057 à vendre en France

KEM/KOKUSAI Lambda 200 etcher/asher est un équipement de gravure et de cendrage de précision conçu pour être utilisé dans divers domaines, notamment la fabrication de circuits intégrés et la micro-fabrication. Ce système utilise la réactivité de l'oxygène pour graver les métaux et les cendres, la céramique et les matériaux de silicium. Le KEM Lambda 200 est conçu avec une gamme de capacités de gravure et d'ashing avec une variété d'options de conception. L'unité de base comprend une chambre de gravure et une chambre de couchage assortie. Ces chambres sont reliées par un verrou de charge rendant le transfert de substrat d'une chambre à l'autre efficace et traçable. La chambre de gravure contient une alimentation continue avec des capacités impulsionnelles commandables extérieurement allant de 1 à 25 mA. Ceci permet à l'utilisateur de contrôler avec précision la gravure et d'améliorer la sélectivité en ajustant la réactivité à des cadences élevées. Le taux élevé réduit les effets du rétrécissement des lignes aux coins des structures. En outre, l'alimentation fournit une polarisation DC avec un paramètre réglable allant jusqu'à 4V. Ce biais aide à réaliser différents processus de gravure. La chambre de gravure est équipée d'une machine à vide turbomoléculaire à quatre étages et est soutenue par un moteur d'entraînement direct à haut débit. De plus, la chambre comporte un étage de mouvement linéaire pour la translation du substrat et un port optique pour la visualisation in situ du procédé de gravure. La chambre de cueillette est couplée à un outil de cueillette d'oxygène. Cet actif dispose de trois vannes à gaz indépendantes et permet des ajustements indépendants et une combinaison pour des résultats optimaux. De plus, plusieurs gaz comme l'azote, l'hydrogène, l'argon et le CO2 peuvent être utilisés pour contrôler le processus de gravure ou de cueillette. Le modèle est conçu avec un séquençage automatisé facile à utiliser et l'ensemble du processus peut être configuré à partir d'un ordinateur connecté. Cela rend l'équipement très efficace. Toutes les données relatives au processus peuvent également être enregistrées et stockées pour analyse historique. KOKUSAI Lambda 200 est un système de gravure et de cueillette robuste et fiable qui fournit des résultats reproductibles et fiables et peut être utilisé pour une variété d'applications. Cela, entre autres caractéristiques, en fait un excellent choix pour une variété de tâches de gravure et d'ashing.