Occasion KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643017 à vendre en France
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ID: 293643017
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Asher, 8"
2001 vintage.
KEM/KOKUSAI Lambda 200C est un graveur/asher idéal pour une large gamme d'applications, y compris les matériaux semi-conducteurs et les panneaux plats. Cette machine utilise la haute tension et le courant pour graver ou cendrer une variété de matériaux allant du silicium au verre. KEM Lambda 200C utilise un support de substrat, une chambre à plasma et une unité de contrôle de processus pour contrôler les paramètres du processus. L'unité de commande permet à l'opérateur de contrôler avec précision le processus en permettant des réglages fins du niveau de puissance RF, de la fréquence et de la polarisation. Le porte-substrat est capable de recevoir des substrats d'une épaisseur allant jusqu'à 8 "(20 cm) et avec des températures aussi basses que -60oC (-75oF). Une variété de configurations de support sont disponibles pour supporter une gamme de matériaux et de tailles de substrat. La chambre à plasma est constituée d'une chambre en acier inoxydable avec une tête de chambre refroidie à l'eau et des électrodes, avec une fenêtre en quartz scellée sous vide. Il est conçu pour être utilisé avec des gaz de procédé à basse température et permet d'exposer le substrat à des températures plus élevées que les autres procédés. L'unité de contrôle du processus est intuitive et conviviale, ce qui permet de sélectionner facilement des paramètres tels que la puissance RF, la fréquence, la polarisation et le débit de gaz. Il permet également à l'opérateur d'ajuster les paramètres du processus pour obtenir les résultats souhaités. L'unité de contrôle de processus est également capable de déclaration automatisée, permettant à l'opérateur de stocker des données et de surveiller les résultats de leur processus de gravure/cendres. KOKUSAI Lambda 200C est capable de nettoyer jusqu'à 4 "(10 cm) substrats et est personnalisable pour s'adapter aux spécifications de la plupart des matériaux semi-conducteurs et panneaux plats. Avec son interface intuitive et ses fonctions de sécurité intégrées, Lambda 200C est une solution idéale pour tout processus de gravure/ashing.
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