Occasion LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 #9143213 à vendre en France
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LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 est un graveur/asher conçu principalement pour la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil de production à haute vitesse, qui fonctionne en continu dans une grande variété de procédés à base de plasma. Il est conçu pour fonctionner en mode de gravure par ions réactifs profonds (DRIE) et de formation de tranchées peu profondes (STF) pour un large éventail d'applications, y compris la gravure de l'aluminium, du cuivre, du dioxyde de silicium et des matériaux organiques. 12123-1-D-00162104 graveur/asher possède une chambre de procédé de 20 « x 15 », ce qui permet de réaliser simultanément une multitude de processus de gravure et de cueillette différents. La chambre est équipée d'un moteur d'entraînement direct et fournit un débit de gaz précis pour fournir d'excellents résultats et des résultats reproductibles. Il dispose d'un contrôleur de processus avancé pour configurer des paramètres de processus optimaux et est conçu pour être compatible avec les opérations de production existantes. LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 Etcher/Asher est conçu pour offrir une uniformité de gravure supérieure, permettant une productivité et une qualité de fabrication plus élevées. Il a la capacité de contrôler la vitesse de gravure à travers la plaquette et le masque de gravure, fournissant une gravure précise des couches critiques. Il dispose également d'un système avancé de distribution de gaz qui distribue uniformément les gaz pour assurer l'uniformité des films sur les caractéristiques structurées. Ceci assure un dépôt régulier des couches, permettant un fonctionnement stable et une fiabilité de production. Le dispositif est équipé d'un système d'alarme et fournit des alarmes de température et de surveillance de pression. Il dispose également de capacités diagnostiques avancées qui aident à détecter tout problème potentiel dans la chambre de processus. LAM RESEARCH 12123 etcher/asher peut être intégré de façon transparente dans les lignes de production existantes, et sa fonctionnalité avancée peut être exploitée pour fournir un large éventail de capacités de traitement efficaces et rentables.
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