Occasion LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX #9237727 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX est un graveur et asher puissant et multifonctionnel conçu pour traiter un large éventail de matériaux. L'équipement intègre la technologie AED (Automated Endpoint Detection) de LAM pour fournir un contrôle précis des résultats, tout en offrant la plus grande flexibilité des paramètres de faisceau et de recette. Le système offre quatre sources de résistance indépendantes pour des résultats plus efficaces et précis ainsi que des capacités de traitement multi-plaquettes. L'unité offre un contrôle précis de la profondeur de gravure, de la vitesse de gravure, de la surface de gravure et de la reproductibilité des paramètres de traitement, ainsi qu'une excellente uniformité. L'outil de gravure et d'asher est conçu pour optimiser la vitesse d'exécution et de traitement. Il dispose de deux chambres de réaction indépendantes, d'une unité de faisceau E pour l'enlèvement des échantillons et d'une configuration verrouillée qui peut décharger et charger plusieurs plaquettes à la fois. La machine dispose également d'un contrôle étanche de la température et de la pression, et d'une gamme de gaz chimiques pour répondre aux exigences définies par l'utilisateur. 2300 e4 Flex EX offre également des configurations de faisceaux flexibles avec une large gamme de courants de faisceaux, ce qui permet d'augmenter le débit et les films plus épais. L'outil offre également une large gamme de fonctionnalités configurables telles que la détection automatique d'endpoint (AED), le profilage de niveau automatisé (ALP), les routines programmables de nettoyage de recette, et diverses interfaces de capteurs pour optimiser le processus de gravure et d'ashing. En outre, l'unité dispose d'une doublure en céramique pour le fonctionnement à long terme de la salle blanche. Les interfaces de l'actif sont conviviales et faciles à utiliser, permettant une remise à zéro rapide et précise des paramètres. En outre, l'outil est équipé d'un modèle de surveillance en temps réel, qui aide à suivre la progression de chaque course de plaquettes. L'appareil comprend un générateur de recettes embarqué pour la création rapide de recettes, et la fonction intégrée de gestion du gaz aide à surveiller l'utilisation des gaz. De plus, LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX est livré avec un lecteur RFID pour la traçabilité des données de processus. Cet outil de gravure et d'asher efficace et fiable est idéal pour les utilisateurs qui ont besoin de performances optimales à court terme. Il fournit un débit de plaquette efficace, l'uniformité, et des résultats précis avec une intervention minimale de l'utilisateur. Ses fonctionnalités avancées en font un choix approprié pour une variété d'applications, y compris les semi-conducteurs, MEMS, médical, et la fabrication de dispositifs LED.