Occasion LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9172842 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo etcher/asher est un équipement puissant et compact conçu pour des applications à haut débit nécessitant une gravure précise, un cendrage et d'autres traitements de matériaux. Il fournit une gravure et un cendrage en une seule étape, ainsi que des combinaisons gravure/cendrage, qui réduisent les temps de cycle tout en assurant l'uniformité. Ce système dispose d'une distance réglable entre plaquettes et substrat, d'une capacité de gaz améliorée, d'une buse « gull wing » conçue pour augmenter le débit et le temps de disponibilité, et d'une suite de diagnostics de cycle intégrés pour le dépannage rapide. Cette machine est également équipée de deux chambres de traitement intégrées, chacune pouvant fonctionner avec jusqu'à huit plaquettes simultanément, permettant des tâches maximales par heure. Avec cette configuration, 2300 e5 Kiyo etcher/asher peut fonctionner en gravure plasma, en gravure plasma, en gravure silicium exposé et en gravure oxyde de surface exposé. Cette unité peut également être utilisée pour des procédés d'oxydation thermique et de CVD haut de gamme - utilisant de l'azote, de l'oxyde nitreux, de l'oxygène, de l'hélium et d'autres gaz - et peut atteindre des températures de processus allant jusqu'à 1150 degrés Celsius. LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo etcher/asher dispose d'un durcissement à l'oxyde métallique de précision pour une durée de vie plus longue du produit et une meilleure rétention des bords des plaquettes. La surface de durcissement améliore également la sécurité puisque sa conception évite les problèmes de décharge électrique. Cette machine dispose d'une interface de contrôle personnalisable avec une interface utilisateur graphique intuitive (UI) et des capacités d'autodiagnostic. L'interface graphique affiche les conditions de la machine en temps réel et permet aux utilisateurs d'exécuter une variété d'ajustements de recettes à la volée pour obtenir des résultats optimaux. Cette machine est construite en matériaux robustes pour assurer un maximum de temps de disponibilité et de fiabilité, et est construite pour être intégrée dans n'importe quel environnement - y compris manuel, semi-automatisé, et entièrement automatisé. Une gamme complète d'options et de composants plug-and-play permettent de personnaliser facilement l'outil pour n'importe quel processus ou application. Sa conception facilite également la maintenance et peut être étendue avec d'autres pièces et accessoires, tels que des algorithmes de diagnostic intégrés et automatisés qui contrôlent les consommables et le matériel pendant le traitement. En outre, 2300 e5 Kiyo etcher/asher est conforme aux normes environnementales et sanitaires.