Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9015441 à vendre en France

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LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45
Vendu
ID: 9015441
Chamber only, 12", 2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 est un graveur et asher avancé utilisé principalement dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir à la fois la gravure précise et la cueillette de minuscules caractéristiques, avec un contrôle automatisé de l'outil et une uniformité précise tout au long du processus. L'Exelan Flex 45 dispose de la flexibilité nécessaire pour traiter une gamme de substrats et de procédés, tels que des caractéristiques à haut rapport d'aspect, un amincissement des plaquettes et des applications de gravure angulaire à 45 degrés. L'Exelan Flex 45 dispose d'une architecture fermée d'outils qui intègre le matériel de plate-forme et de processus avec une gamme de pompes à vide, de serrures de charge et de modules sources qui offrent la flexibilité nécessaire pour adapter le processus au résultat souhaité. Ce niveau de matériel intégré augmente la précision des processus, réduit les coûts d'exploitation et assure un débit de plaquettes rapide. L'etcher/asher est contrôlé par un contrôleur de processus embarqué, qui permet à l'opérateur de surveiller chaque processus de gravure en temps réel avec une interface utilisateur graphique. Le contrôle de processus intégré permet également de pré-programmer la configuration de la recette et le contrôle du processus ainsi que de fournir un processus précis et répétable chaque fois que la recette de gravure est exécutée. L'Exelan Flex 45 dispose également d'un design de chambre de gravure avancé qui augmente l'uniformité, améliore le nettoyage des plaquettes pendant le processus et aide à minimiser la contamination croisée. La construction sous vide à plate-forme complète permet de minimiser l'incursion de particules et de réduire la perte d'agents halogénés précieux. L'etcher/asher est également équipé d'une variété de dispositifs de sécurité, tels qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence, des alarmes sonores et un système d'architecture fermée qui empêche l'exposition accidentelle à des températures élevées ou à des vapeurs chimiques. Ces caractéristiques garantissent la sécurité des opérateurs et des spectateurs pendant le fonctionnement. 2300 Exelan Flex 45 est le graveur/asher idéal pour ceux qui recherchent la précision et la répétabilité supérieure. Avec une conception de chambre de gravure intégrée et un contrôle automatisé des outils, les utilisateurs peuvent avoir confiance que chaque gravure produira des résultats précis. En outre, avec une gamme de dispositifs de sécurité, les utilisateurs peuvent se sentir confiants que leurs opérateurs et spectateurs sont maintenus en sécurité.
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