Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9252457 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 est un graveur/asher qui offre des performances et une stabilité supérieures dans les processus de fabrication d'appareils de nouvelle génération hautement intégrés. Ce modèle de graveur/asher est capable de traiter de grands substrats jusqu'à 45 pouces de diamètre avec la plus grande précision et précision. Le 2300 Exelan Flex est construit avec une chambre de source avancée qui peut être configuré pour divers processus tels que la gravure humide, la gravure sèche, la bande de résistance, la cendre, et l'encastrement-gravure. La chambre dispose d'un contrôle thermique à double zone pour assurer un débit de gravure uniforme et cohérent, ainsi que d'un équipement de chargement et de déchargement entièrement automatisé pour un traitement efficace. La chambre contient également des sources de faisceau de photons gaussiens pour une gravure efficace, assurant que le temps de processus est réduit et les taux de gravure sont maximisés. Le 2300 Exelan Flex dispose également d'une variété de fonctions de contrôle de processus pour une gravure et un cendrage précis et fiables. Cela comprend le contrôle de puissance RF et DC, le contrôle de pression, la polarisation du substrat et le contrôle uniforme de la température. Ce système avancé comprend également une unité de surveillance des processus, qui assure que le processus de gravure ou de cueillette est effectué de manière précise et cohérente. Le 2300 Exelan Flex comprend également une machine d'alignement automatique pour le positionnement de la plaquette sur le plateau. Cet outil est capable d'obtenir une précision d'alignement inférieure à 5µm sans intervention manuelle. De plus, son outil de contrôle de pression assure une remise de pression uniforme sur la plaquette pendant le processus de gravure ou de cueillette. Le 2300 Exelan Flex comprend également plusieurs mesures de sécurité avancées, comme le modèle à double isolation pour assurer la sécurité et la précision du processus de gravure. Il dispose également d'un équipement de surveillance d'alarme qui envoie des signaux d'alarme sonore lorsque des changements de processus se produisent, de sorte que l'opérateur peut rapidement évaluer et ajuster le système en conséquence. Enfin, sa capacité de service à distance permet un entretien facile et pratique du graveur/asher. Au total, le 2300 Exelan Flex 45 est un graveur/asher puissant qui offre des performances et une stabilité supérieures pour les processus de fabrication d'appareils de nouvelle génération. Ses caractéristiques avancées et ses mesures de sécurité garantissent des résultats de gravure et d'ashing précis et fiables de manière sûre, efficace et rentable.