Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292910 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 est un graveur/asher doté d'une chambre de traitement On-Axis avec entraînement direct de l'ensemble Pompe Turbo-Moléculaire. Ce graveur/asher offre une grande vitesse et un contrôle précis du processus de gravure, avec un faible temps d'arrêt et la variabilité du processus. La conception de la chambre de traitement On-Axis assure une gravure plasma uniforme et répétable des plaquettes sur toutes les zones de la plaquette simultanément, permettant une uniformité plasma élevée et précise. Cette chambre permet également la conduite directe de l'ensemble Turbo-Pompe Moléculaire, qui offre une efficacité de pompage améliorée et se traduit par des exigences d'entretien nettement moindres. Ce graveur/asher permet la gravure en silicium polycristallin, et la chambre de traitement On-Axis possède des caractéristiques réglables pour faciliter le réglage du processus de gravure. Le puissant générateur d'Exelan Flex 45 permet un contrôle précis des principaux paramètres de gravure, tels que la puissance de gravure, la fréquence et la pression de traitement. Le générateur contient également une source de plasma à distance de haute pureté (RPS) avec aimant toroïde « fermé » qui peut être utilisé pour graver sélectivement des composés et des matériaux. L'etcher/asher comprend également une vaste gamme de fonctions de sécurité avec des systèmes d'enregistrement et de surveillance des données qui garantissent une pression nominale maximale et la température de la chambre. De plus, la technologie de régulation du système en boucle fermée de l'Exelan Flex 45 améliore l'uniformité, la productivité et la fiabilité des plaquettes en veillant à ce que les paramètres de gravure soient maintenus à leur niveau optimal. De plus, l'Exelan Flex 45 a une large gamme d'applications pour différents processus de gravure. Il peut être utilisé pour diverses gravures, telles que gravure chimique profonde, gravure de contact, fraisage ionique, gravure ionique réactive, gravure de cendres et de chambre de décharge. Le graveur/asher est également conçu avec une capacité à haute température jusqu'à 450ºC et un système d'échappement local dédié qui peut éliminer les sous-produits de processus nocifs tels que l'ozone, l'oxygène et l'azote. L'Exelan Flex 45 est compatible avec une variété de gaz, y compris l'argon, l'hélium, l'hydrogène et l'azote, et est capable de manipuler de petites et grandes quantités de gaz pour ses applications. L'Exelan Flex 45 est un graveur/asher efficace et polyvalent qui fournit des résultats répétables de gravure et d'ashing plasmatiques. Sa conception de chambre de traitement On-Axis et sa technologie de régulation du système en boucle fermée optimisent l'uniformité des débits et des plaquettes tout en minimisant les temps d'arrêt et la variabilité des processus. Ce graveur/asher est un outil idéal pour une gamme de processus de gravure et sa large gamme d'applications et de caractéristiques de sécurité en font un ajout précieux à n'importe quel laboratoire.