Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293619655 à vendre en France
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ID: 293619655
Taille de la plaquette: 12"
Dielectric etcher, 12"
EFEM
AC Rack
VTM
(3) Gas boxes
GIB
(3) PM
(2) LP
Pallet: Cable and chiller hose
RPDB Rack
Process kit
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / - / Signal tower lamp assembly
(1) / 685-068190-004 / Gaille board
(1) / 685-068191-004 / Gap drive
(1) / 685-319860-001 / Iron server
(1) / 605-109114-001 / CPU Board
(1) / 857-019053-004 / ATM Robot
(1) / 799-000492-003 / VTM Robot body
(1) / - / VTM Robot arm
(1) / 810-066590-004 / Stepper board
(3) / 853-040482-600 / 3-Frequency matcher
(3) / 660-080455-300 / 2 Mhz Gen
(3) / 660-072825-200 / 27 Mhz Gen
(3) / 660-072826-200 / 60 Mhz Gen
(1) / 810-800256-207 / Node Board
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / 2/8 Add / OES Unit
(1) / 2/8 Add / APC Actuator board
(1) / 2/8 Add / V10P Board
(1) / 2/8 Add / LTC Board
(1) / 2/8 Add / VME Box (I/B+M/B).
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + est un équipement de graveur/asher avancé qui fournit aux fabricants de semi-conducteurs une solution de gravure et d'ashing fiable et précise. Ce système est un appareil avancé, entièrement automatisé, monobloc qui utilise plusieurs technologies, y compris les CVD à chaud, la gravure plasma et les technologies de vide. L'unité dispose d'une grande chambre et de beaucoup de place pour les plaquettes étendues jusqu'à 300mm de diamètre. Les chambres sont remplies de gaz inertes et offrent un environnement très propre pour la gravure et l'ashing. La machine dispose d'un outil de mouvement de précision, qui assure une gravure et un cendrage extrêmement précis. Cet atout permet également de préprogrammer des recettes de gravure et de cueillette, qui permettent de contrôler le processus de précision et permettent à l'utilisateur d'ajuster les paramètres de gravure et de cueillette pour des résultats exacts. Le modèle présente également une qualité de gravure et une homogénéité inhérentes élevées, ce qui permet des processus fiables et reproductibles. 2300 Exelan Flex EX + est également équipé de caractéristiques de sécurité avancées qui garantissent la fiabilité des processus. Ces caractéristiques de sécurité comprennent la fin automatique des processus de gravure et d'ashing si les limites fixées sont dépassées, la surveillance de la température pour éviter les dommages à la température excessive et l'enregistrement des données de résultat, ce qui permet à l'utilisateur d'identifier rapidement tout problème lié au processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + est une solution de gravure et d'ashing idéale pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement est fiable et fournit d'excellents résultats cohérents, grâce à son système de mouvement de précision et ses recettes préprogrammables. Ses caractéristiques de sécurité garantissent également la fiabilité du processus, en contrecarrant tout problème potentiel avant qu'il ne se produise. Cette unité est une solution fiable et performante pour tous les besoins de gravure et de cueillette de semi-conducteurs.
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