Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293641915 à vendre en France
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ID: 293641915
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12"
Aligner
BROOKS Express load port
571-810321-10598 EFEM
BROOKS 138150 Robot
571-810320-10598 VTM
108000-37 VTM Robot magratran 7
101543506270005 AC Rack
108358 Robot controller
571-035344-10598 GIB
(3) Process Modules (PM)
853-243881-001 Generator cart
RPDB
Gas box:
Part number / Line / Description
571-033051-001 / 16 / IGS Gas box
571-033051-002 / 16 / IGS Gas box
571-033051-003 / 16 / IGS Gas box
Missing parts:
(2) Signal tower lamps
(3) 853-040482-600 Matchers
(3) 660-080455-300 Generators, 2MHz
(3) 660-072825-200 Generators, 27 MHz
(3) 660-072826-200 Generators, 60 MHz
(3) 628D-26910 CM1 BARATRON Manometers, 100 mT
(3) EI-R04M Turbo pump TMP-2804LMC Controllers.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + Etcher/Asher est une machine compacte mais puissante qui a été conçue pour garantir des résultats supérieurs dans une large gamme de processus de gravure et de cueillette. Il est idéal pour une variété d'applications de production et de recherche telles que les études antidopage et notre gravure par faisceau d'ions hautement efficace. L'etcher est équipé d'une variété de caractéristiques qui lui permettent d'offrir un maximum de performance et de fiabilité. L'équipement comprend une soufflante d'échappement à vitesse fixe qui assure un fonctionnement économique, permettant au système de fonctionner pendant de longues séries de production sans risque d'endommager les composants. Il est conçu avec un certain nombre de fonctionnalités avancées qui permettent un contrôle fin sur la vitesse de gravure et l'uniformité. L'Exelan Flex EX + est capable d'une large gamme de produits chimiques de gravure : chlore, brome, fluor, soufre, aluminium et titane. L'unité peut traiter en toute sécurité des substrats métalliques, céramiques ou polymères dans une variété de tailles, de formes et d'épaisseurs. Sa machine de réduction réacto-électrique brevetée permet le traitement des gravures avec jusqu'à six emplacements de traitement des plaquettes. L'outil est facile à utiliser et parfait pour la recherche, la fabrication d'un lot et la production par lots. Il offre une meilleure qualité de surface et contrôle des particules, ainsi qu'une grande uniformité sur toute la longueur de la chambre. L'ensemble étendu de caractéristiques de sécurité non seulement assure la longue durée de vie de l'actif, mais en fait également l'un des systèmes les plus sûrs de graveurs/cendres sur le marché. Conçu pour une fiabilité optimale, l'Exelan Flex EX + offre des performances fiables et constantes, ce qui en fait la solution idéale pour un certain nombre de processus de gravure et d'ashing. La conception efficace et peu encombrante lui permet de s'intégrer dans une variété de paramètres de laboratoire et de production. 2300 Exelan Flex EX + Etcher/Asher est un modèle fiable qui est sûr de fournir des résultats supérieurs.
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