Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293643636 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + est un graveur/asher très efficace, conçu pour supporter des processus à la fois humides et secs pour une large gamme d'applications. Il dispose d'une architecture d'équipement robuste pour maximiser la productivité et le débit, et de fonctionnalités de refroidissement améliorées pour une uniformité de processus supérieure, en particulier dans les processus secs. 2300 Exelan Flex EX + est équipé d'un système d'injection de gaz à basse pression à base de chlore, permettant aux utilisateurs de tirer parti des concentrations de gaz à un niveau beaucoup plus bas que les systèmes de gravure classiques. Ceci, avec sa haute uniformité de température, contrôle précisément les taux de gravure sur une gamme de matériaux, ce qui le rend idéal pour des applications avancées d'intégration de processus et de gravure de précision. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + dispose également d'une architecture d'unité avancée conçue pour l'uniformité, la répétabilité et le contrôle optimisé des processus. 2300 Exelan Flex EX + propose également des options de conception évoluées et flexibles pour s'adapter à différentes tailles et géométries de substrat. Sa machine de pompage à trois zones permet d'optimiser toutes les exigences de taille de substrat pour tous les modules de traitement, en assurant l'homogénéité, l'homogénéité et le contrôle technique parfaits. Son fin-effecteur configurable multi-axes unique permet un positionnement fiable et lisse des substrats dans le module cible, permettant une exécution précise et répétable du processus. En termes de sécurité, LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + est livré avec un moniteur de processus avancé qui assure un transfert de substrat correct et un contrôle de processus précis. Il fournit également divers outils de réglage et de diagnostic pour assurer une performance optimale et la cohérence des processus, ainsi que la surveillance du flux de processus en temps réel qui permet de dépanner des problèmes inattendus. En résumé, le 2300 Exelan Flex EX + est un graveur/asher de pointe qui offre d'excellentes capacités de gravure, une architecture d'outils robuste, un refroidissement amélioré, ainsi que des options de conception flexibles pour différents substrats. Il est conçu pour la précision et la répétabilité des processus de gravure et dispose de fonctionnalités avancées pour un meilleur contrôle des processus et la sécurité.