Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9375615 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX est un équipement de gravure et d'ashing conçu pour la production industrielle de composants microélectroniques. Il peut accueillir une large gamme de tailles de plaquettes, de la plus petite (200mm) jusqu'à des formats de plaquettes plus grands (450mm). Ce système utilise une conception unique, auto-nettoyant douche, permettant une uniformité de réaction supérieure et des temps de processus plus rapides. Cette conception combinée avec le plateau de plaquettes recouvert de polyimide assure une faible génération de particules. L'Exelan Flex FX dispose d'une large gamme de paramètres, y compris le temps et la pression de gravure, ainsi que le contrôle de température d'uniformité. Il offre des tolérances très serrées sur la profondeur de gravure et l'uniformité, permettant une gravure et une cendre de la plus haute qualité. De plus, l'unité permet un ajustement précis en temps réel des conditions de processus afin d'optimiser les résultats de gravure. L'Exelan Flex FX est équipé d'une poignée de fonctions de sécurité avancées. Cela comprend une machine de nettoyage à base de peroxyde d'hydrogène qui empêche l'accumulation sur les parois de la chambre, évitant la contamination. Il dispose également d'un outil de sécurité avancé pour améliorer la sécurité des processus. Il comprend une chambre d'isolement pour séparer les gaz dangereux du reste de l'actif, assurant ainsi la sécurité du personnel de l'installation. De plus, l'Exelan Flex FX dispose d'une fonction de récupération de processus qui permet de minimiser les temps d'arrêt liés à la contamination. Enfin, l'Exelan Flex FX est conçu pour un réglage flexible et spécifique aux processus. Ce modèle permet aux utilisateurs d'adapter la séquence de gravure pour optimiser les résultats de processus spécifiques. Cela permet de réduire les temps d'arrêt et d'augmenter le rendement. L'Exelan Flex FX est un outil fiable et polyvalent pour la production de gros volumes, offrant des résultats de gravure et d'ashing supérieurs avec des tolérances d'uniformité plus strictes.