Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293675856 à vendre en France

LAM 2300 Asher/Etcher est un asher/etcher à procédé sec conçu pour être utilisé dans les opérations semi-conductrices et les procédés connexes. Il est idéal pour les procédés nécessitant une température basse et un plasma d'oxygène basse ou haute pression. La conception avancée et riche en fonctionnalités de 2300 comprend un support et un réchauffeur intégrés, un équipement à double rotor, un équipement à flux massique en boucle fermée, un dépôt sous vide intégré et un échappement intégré à haut rendement. Le chauffage interne et le système de distribution de gaz clos de LAM 2300 permettent de contrôler avec précision les températures de traitement des substrats et l'uniformité des régimes de profilés. L'unité intégrée à double rotor en boucle fermée assure que les gaz de procédé restent dans les paramètres de température et de pression sûrs tout au long du cycle de traitement. Le module de dépôt sous vide intégré peut être utilisé pour enrober des substrats avec une gamme de matériaux de métaux, polymères et couches minces d'oxyde. La conception innovante et la machine de commande intuitive de 2300 lui ont permis de devenir l'un des graveurs/cendres de préservation les plus fiables de l'industrie. Il est compatible avec une variété de tubes de procédé standard, avec une gamme de tailles et de tailles de plaques chauffées disponibles. La LAM 2300 dispose également d'un outil d'échappement avancé, à haute efficacité et à haute intensité pour l'élimination efficace des sous-produits d'échappement. Les gaz d'échappement permettent de régler rapidement le modèle et de maintenir la pression tout en minimisant la concentration des fumées concentrées. 2300 fournit un faisceau de gaz focalisé qui aide à augmenter la qualité de la gravure et l'uniformité des caractéristiques. La source d'énergie variable à deux étages sur LAM 2300 permet un contrôle précis des paramètres du procédé, y compris le temps, la pression, le rapport des gaz, le débit et la concentration spécifiée des gaz du procédé. Ces paramètres peuvent être variés à volonté au cours du processus, ce qui permet une excellente qualité et répétabilité du processus. De plus, les fonctions de sécurité complètes et intégrées de 2300 protègent votre personnel des risques associés aux conditions de processus dangereuses.